<div dir="ltr">Hi Michael-<div>we don't have a Beneq here but we have used TDMAS with our Fiji200, with O2 plasma as the oxygen source.</div><div>I'm not sure if the pulse, purge times would be relevant for a different chamber. We kept TDMAS at room temperature and have done depositions of SiO2 at substrate temp of 100C-250C.</div><div>Recently we have also tried BTBAS (heat to 50C)  for our SiO2 film with some decent results. </div><div>Best, </div><div>Sam</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Wed, Jul 14, 2021 at 8:40 AM Martin,Michael David <<a href="mailto:michael.martin@louisville.edu" target="_blank">michael.martin@louisville.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">




<div dir="ltr">
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Hi guys, <br>
</div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
    Would anyone be willing to share process details for using TDMAS (Tris(dimethylamino)silane) on a Beneq ALD system?  Beneq tells me they do not have experience with that precursor.  Barring a recipe for the particular tool, it would be helpful to just have
 a general starting point such as precursor temperature, injection and purge times, substrate temperature, ozone flow rate, etc.  There seems to be a frustrating lack of detail in the literature and I have a customer that is chomping at the bit to get SiO2
 down.  <a href="https://www.sigmaaldrich.com/US/en/substance/trisdimethylaminosilane1613215112897?context=product" id="gmail-m_3617898902190821040gmail-m_-6729114239181519190LPlnk" target="_blank">
<span></span></a><br>
</div>
<div></div>
<br>
<div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Regards, <br>
</div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
   Michael <br>
</div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div id="gmail-m_3617898902190821040gmail-m_-6729114239181519190Signature">
<div>
<div></div>
<div></div>
<div id="gmail-m_3617898902190821040gmail-m_-6729114239181519190divtagdefaultwrapper" dir="ltr" style="font-size:12pt;color:rgb(0,0,0);font-family:Calibri,Helvetica,sans-serif">
<p style="margin-top:0px;margin-bottom:0px">Senior Process Engineer </p>
<p style="margin-top:0px;margin-bottom:0px">Micro/Nano Technology Center</p>
<p style="margin-top:0px;margin-bottom:0px"><span>University of Louisville</span><br>
</p>
<span style="color:rgb(0,0,0);font-size:11pt;font-family:Calibri,sans-serif">(502) 852-7671</span><br>
<p style="margin-top:0px;margin-bottom:0px">Web page:<a href="https://louisville.edu/micronanohttps://www.instagram.com/micronanolouisville/" target="_blank"> https://louisville.edu/micronano</a></p>
<p style="margin-top:0px;margin-bottom:0px">Instagram:
<a href="https://www.instagram.com/micronanolouisville/" target="_blank">https://www.instagram.com/micronanolouisville/</a></p>
<p style="margin-top:0px;margin-bottom:0px">Facebook
<a href="https://www.facebook.com/MNTCUOFL/" target="_blank">https://www.facebook.com/MNTCUOFL/</a></p>
<div>YouTube: <a href="https://www.youtube.com/channel/UCGiczmq6wVIBJlM7UEGVW9Q" target="_blank">
https://www.youtube.com/channel/UCGiczmq6wVIBJlM7UEGVW9Q</a></div>
<b><br>
</b>
<p style="margin-top:0px;margin-bottom:0px"></p>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr">Sam Tsitrin</div><div dir="ltr"><br></div><div>R&D Engineer</div><div>UC Berkeley Marvell Nanolab</div></div></div></div>