<div dir="ltr">Hello All,<div>    We are currently having film quality issues with our LPCVD Low Stress Nitride, HTO and Nitride films. Without getting into all of the details just yet I am sharing with you some SEM images. The anomaly, as our furnace manufacturer describes it, are what look like spheres, or bubbles on the surface of the films. We are pretty confident that the spheres are only on the surface and not down into the film itself.</div><div>It is very random across the wafers and across the wafer load. After further processing, the spheres come off and leave behind a divot, or crater on the surface. This can also be seen in the SEM images.</div><div>   My question is, has anyone ever seen anything like this with any of your LPCVD films? I have been working with Tempress for the last several months to resolve the issue, but they have never seen anything like this, and so far we have not made any progress in determining the source. Any help would be appreciated. </div><div><br></div><div>Thanks.....Terre</div><div>    <br><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><font><font>Terre Briggs</font></font><br></div><div><font><font>Engineer in Research Sr.</font></font><br></div><div><font><font>Lurie Nanofabrication Laboratory</font></font><br></div><div><font><font>University of Michigan</font></font></div><div><font><font>1301 Beal Ave.</font></font></div><div><font><font>Ann Arbor, MI 48109</font></font></div><div><font><font>734-320-4470</font></font></div><br></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div></div>