<div dir="ltr"><div dir="ltr">Humidity control is mainly for photoresist processing. E-beam resists such as pmma, csar, and hsq are not sensitive to the humidity and do not require tight control. Even when using MIBK:IPA developer, there will be no problems when developing pmma, as long as the wafers are stored in a dry box. I'm not sure about MaN resist, but perhaps someone else can chime in about that.</div><div dir="ltr"><br></div><div>If you can design a cleanroom with humidity control just in the photo sections, then go for it. But it might be quite difficult to split up the air handling.</div><div dir="ltr"><br></div><div dir="ltr">Our e-beam systems are in labs without any humidity control other than basic air conditioning. Temperature control is an entirely different topic. <br><div><br clear="all"><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr">--------------------------------<div><font size="1">Michael Rooks</font></div><div><font size="1"><a href="http://nano.yale.edu" target="_blank">nano.yale.edu</a></font> </div></div></div></div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Tue, Oct 12, 2021 at 7:39 AM Aju Jugessur <<a href="mailto:Aju.Jugessur@colorado.edu">Aju.Jugessur@colorado.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">





<div lang="EN-US" style="overflow-wrap: break-word;">
<div class="gmail-m_4087560777296293340WordSection1">
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt">Hello all,<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt">I am reaching out to obtain some inputs on your cleanroom relative humidity (RH).<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt">We have designed our ISO 5 cleanroom with RH (40 +/- 5 %). Among other cleanroom fabrication processes, the cleanroom will support EBeam nanolithography work.<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt">The system to control RH within the required specs is quite expensive and I would like to know if anyone in the network is able to relax the RH specs, without compromising processes OR have alternative ways
 of locally controlling the RH, say in the actual litho. bay areas or hoods?<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt">Your inputs are very much appreciated.<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt">Thanks<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt">Aju<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black">Aju Jugessur Ph.D. IEEE Sr. Member<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black">Director, Colorado Shared Instrumentation
<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black">in Nanofabrication and Characterization (COSINC) Facility<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black">Member of Inclusive Culture Council (ICC)<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black">Member of Engineering Staff Council (ESC)<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:11pt;color:rgb(31,73,125)">University of Colorado Boulder | </span></b><b><span style="font-size:11pt;color:rgb(179,156,17)">College of Engineering & Applied Science</span></b><span style="font-size:11pt;color:black"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black">4001 Discovery Drive, N360G SEEC <b>|</b> Boulder, CO 80303<b>|</b> <b>P:</b> 303.735.5019<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:rgb(31,73,125)">E-mail: <a href="mailto:aju.jugessur@colorado.edu" target="_blank"><span style="color:rgb(149,79,114)">aju.jugessur@colorado.edu</span></a><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:rgb(35,35,51);background:white">Personal Zoom link:
<a href="https://cuboulder.zoom.us/my/ajugessur" target="_blank"><span style="color:rgb(5,99,193)">https://cuboulder.zoom.us/my/<b>ajugessur</b></span></a></span><b><span style="font-size:11pt;color:rgb(35,35,51)"><u></u><u></u></span></b></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black"><a href="http://www.colorado.edu/facility/cosinc" target="_blank"><span style="color:rgb(5,99,193)">www.colorado.edu/facility/cosinc</span></a><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal" style="margin-bottom:12pt"><span style="color:black"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:black"><img border="0" width="150" height="56" style="width: 1.5625in; height: 0.5833in;" id="gmail-m_4087560777296293340Picture_x0020_1" src="cid:17c755bdde64cff311" alt="signature_1686830665"></span><span style="color:black"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt;color:rgb(31,73,125)"> </span><span style="color:black"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><b><span style="font-size:8.5pt;font-family:-webkit-standard;color:black">Signature-Strengths: Focus, Activator, Futuristic, Strategic, Achiever<br>
(CliftonStrengths)</span></b><span style="color:black"><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:11pt"><u></u> <u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div></div>