
<html>

  <head>


    <meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=UTF-8">

  </head>

  <body>

    Dear all,<br>

    <br>

    <br>

    did anybody  ever see any defects like this on the resist surface

    after resist spinning. The diameter varies from about 20um to over

    150um.<br>

    <br>

    <img src="cid:part1.51001AC2.15A95466@gno.de" alt=""><br>

    <br>

    <img src="cid:part2.4437EB4D.6D9807A5@gno.de" alt=""><br>

    <br>

    <br>

    Any idea what the reason could be?<br>

    <br>

    <br>

    Best regards,<br>

    <br>

    Eva<br>

    <br>

  </body>

</html>