<div dir="ltr"><div>Dear all,</div><div><br></div><div>My group, among other activities, makes MEMS chips with nitride membranes. Ideally, because I think it would be more economical, I am wondering if anyone knows a facility that can deposit super or ultra low stress LPCVD silicon nitride (180nm) on 300/400um thick 4"silicon wafers. Or perhaps this is not a good idea as the achievable membrane performance may depend on the bow/warp/etc. of the silicon wafers. Alternatively, I would like to find a wafer vendor that can target such a low stress nitride coating at a reasonable price.<br></div><div><br></div><div>I'm looking for something less than 50MPa tensile stress, maybe closer to zero. I've used low stress ( nominally <250MPa) and now super low stress (nominally <100MPa, paid about 100USD per wafer for 25 wafers, would be willing to pay a bit more), but my nitride membranes are still breaking more than is acceptable.</div><div><br></div><div>I am aware that our application is demanding, as the membranes are quite large (440um x 440um), and we often make holes through them, either with RIE (before the membranes are suspended) or FIB (after).<br></div><div><br></div><div>I would be very grateful for any suggestions. Thanks!</div><div><br></div><div>Best Regards,</div><div>Aaron</div><div><br></div><div><span style="color:rgb(102,102,102)">Aaron Mueller, PhD<br></span></div><div><span style="color:rgb(102,102,102)">Research Fellow</span></div><div><span style="color:rgb(102,102,102)">School of Materials Science and Engineering</span></div><div><span style="color:rgb(102,102,102)">Nanyang Technological University</span></div><div><span style="color:rgb(102,102,102)">Singapore</span><br></div><div><br></div><div><br></div></div>