<div dir="ltr"><br><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">---------- Forwarded message ---------<br>From: <strong class="gmail_sendername" dir="auto">William Kiether</strong> <span dir="auto"><<a href="mailto:wjkiethe@ncsu.edu">wjkiethe@ncsu.edu</a>></span><br>Date: Mon, Mar 7, 2022 at 10:49 AM<br>Subject: Re: [labnetwork] Large-scale Nanopatterning<br>To: Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@central.uh.edu">lvchang@central.uh.edu</a>><br></div><br><br><div dir="ltr">Hi, <div><br></div><div>We've been working with a company Smart Materials that uses a nanoimprint process to do this level of lithography.  Their response to my inquiry is below: </div><div><br></div><div><p>We can certainly make features with a 500nm center-to-center spacing on a hexagonal lattice very rapidly. We can pattern the master mold at a rate of about a square inch per minute and then use nanoimprint lithography to replicate the entire nanopattern in a matter of minutes. That said, there are some caveats. For example, nanoimprint lithography will result in a residual resist layer that must be descummed prior to any etching steps. We're also likely to have more defects than EBL.<br></p><p>You're welcome to refer Long to information on our website (<a href="https://www.smartmaterialsolutions.com/tech/nanocoining" target="_blank">https://www.smartmaterialsolutions.com/tech/nanocoining</a>), and we'd be happy to set up a discussion if he is interested in learning more.</p><p><br></p><p>Bill Kiether</p><p>NCSU Nanofabrication Facility</p></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Sat, Mar 5, 2022 at 8:17 AM Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@central.uh.edu" target="_blank">lvchang@central.uh.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div>
Hello,
<div><br>
</div>
<div>I need to print 300nm dots with center to center spacing of 500nm on a hexagonal lattice. Currently doing it with EBL, but need to do it faster and cheaper. What are my options? Can this be done with a Stepper somewhere?</div>
<div><br>
</div>
<div>Thanks,<br>
<div>
<div dir="auto" style="color:rgb(0,0,0);letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;text-decoration:none">
Long</div>
</div>
<br>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>
</div></div>