
<html>

  <head>


    <meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=UTF-8">

  </head>

  <body>

    <p>I'm looking for a recommended small footprint LPCVD system.  My

      cleanroom "chase" is above the room so the entire furnace system

      needs to be inside the clean area.  I'm looking for maximum 4"

      size wafers.</p>

    <p><br>

    </p>

    <div class="moz-signature">-- <br>

      <img src="cid:part1.Sr5GORUG.3NrRvd1y@physics.ubc.ca" border="0"></div>

  </body>

</html>