<div dir="ltr">We had a similar issue even at room temperature etching.<div>You might want to check the bottom bearing. I had to replace ours.</div><div><br></div><div>Jim</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Tue, Jun 21, 2022 at 3:52 PM Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@central.uh.edu">lvchang@central.uh.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div style="overflow-wrap: break-word;">
Hi Guys,
<div><br>
</div>
<div>After etching through 380um of Silicon, the loading arm would get jammed during unloading, see photo. The problem was fixed by adding a 15min step to do nothing step to allow the clamp to cool down before unloading. Now the problem is back and
 the plan is to increase the cool down time until it stops jamming. Is there a better way to avoid this problem? Should the PR on the wafer edge be removed?</div>
<div><br>
</div>
<div>Thanks,<br>
<div>
<div dir="auto" style="color:rgb(0,0,0);letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;text-decoration:none">
Long</div>
</div>
<img id="gmail-m_-92166321592108884021E2FD795-9308-4A58-8C3A-D01696E77CC6" src="cid:18187d58d75f17a84191"></div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><span style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#000000"><b>Thank you, Jim</b></font></span></div><div dir="ltr"><span style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><b><br></b></i></font></span></div><div dir="ltr"><span style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><b>James Mitchell</b></i></font></span><div style="font-size:12.8px"><font color="#990000"><span style="font-size:12px;background-color:rgb(248,248,248)"><i><font face="verdana, sans-serif"><b>Specialty Trades Technician</b></font></i></span></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Dept. of Electrical and Computer Engineering</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000" style="letter-spacing:0.2px"><i><b>North Carolina State University</b> Nanofabrication Facility (NNF)</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000" style="letter-spacing:0.2px"><i>MRC RM243A </i></font><font color="#990000" face="verdana, sans-serif" style="letter-spacing:0.2px"><i>Box 7911</i></font><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><br></i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font color="#990000" face="verdana, sans-serif" style="letter-spacing:0.2px"><i>2410 Campus Shore Dr., Raleigh, NC 27606</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><a href="mailto:jtmitch5@ncsu.edu" target="_blank"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>jtmitch5@ncsu.edu</i></font></a></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Desk: 919-515-5394</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Cell: 919-717-7325</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><br></i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><img width="200" height="112" src="https://ci3.googleusercontent.com/mail-sig/AIorK4wxLimwB_5St7qZJC8ne2SVIfepiREdVM9XtpAnKWtUlUmQ9JVfMo0BrekxVWi9XiOexJNuruk"><br></i></font></div></div></div></div></div></div></div></div></div>