
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=us-ascii">

</head>

<body>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left;" dir="auto">

Dear Colleagues,</div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left;" dir="auto">

<br>

</div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left;" dir="auto">

First I want to thank all of you who had helpful suggestions regarding sealing our ALD tool.</div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left;" dir="auto">

<br>

</div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left;" dir="auto">

As a follow-up, I want to purchase an inlet trap to protect the Ebara A25S dry pump we will be using for the ALD<span style="font-size: 12pt;">. We plan on avoiding chlorinated metalorganic precursors, so a stainless steel trap should be ok.</span></div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left;" dir="auto">

<br>

</div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left;" dir="auto">

What are people using as traps to protect their ALD serving vacuum pumps? I am currently considering a Mass Vac MULTI-TRAP. Thoughts?</div>

<div id="ms-outlook-mobile-signature">

<div><br>

</div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left" dir="auto">

Regards,</div>

<div style="color: rgb(33, 33, 33); background-color: rgb(255, 255, 255); text-align: left" dir="auto">

Kevin</div>

</div>

</body>

</html>