<div dir="ltr"><div>Hi Chandan,</div><div>Here at Columbia we use a Fabmate crucible for Al e-beam depositions. We suggest using e-beam to our users only when they tried the thermal evaporation and if didn't work for their needs.</div><div>The crucible does break often (I would assume every 3-5 depositions) and the only thing that looks helpful so far is ramping up and down slowly (you mentioned 5 min, this is what we do for both up and down ramps).</div><div>It would be helpful to get a summary of your findings :)</div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>Youry<br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Aug 29, 2022 at 8:12 AM Chandan H B <<a href="mailto:chandanachar95@gmail.com">chandanachar95@gmail.com</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr">Dear Lab network community,<div><br></div><div>We are currently facing an issue in the deposition of Aluminium in one of our Electron beam evaporation tools, we tried intermetallic, fab mate, copper, glassy coated graphite, and graphite crucibles for the evaporation. It seems that none of them are working out. </div><div>We see crucible gets broken at the initial deposition quite often.</div><div><br></div><div>Are we missing out on any parameters unchecked?</div><div>Kindly recommend us a few parameters or solutions for the same.</div><div><br></div><div>Any suggestions/Inputs are highly appreciated.</div><div>Thanks in advance!</div><div><br></div><div>Regards,</div><div>CHANDAN H B</div><div>THIN FILM ENGINEER</div><div><br></div><div>P.S: Here are a few parameters that are provided to the tool.</div><div>Power: 10KW</div><div>Voltage: 10KV constant</div><div>Current: Variable </div><div>Rise1 & Soak1: 5min & 1min /8min & 2min</div><div>Rise1 Power: 4% (for intermetallic crucible)</div><div>Rise2 & Soak2: 5min & 1min /8min & 2min<br></div><div>Rise2 Power: 8% (for intermetallic crucible)</div><div>Ramp down: 5min</div><div>Rate of deposition: 0.1nm/sec</div><div>Beam Pattern: Spot Beam at the center of the crucible</div><div>Crucible Volume: 20cc</div><div>Material fill %: As recommended 67-75%</div><div><br></div><div><br></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://urldefense.proofpoint.com/v2/url?u=https-3A__mtl.mit.edu_mailman_listinfo.cgi_labnetwork&d=DwICAg&c=009klHSCxuh5AI1vNQzSO0KGjl4nbi2Q0M1QLJX9BeE&r=-s6JocV5E0wqGBIx8T7r2r5AeZ7Q3e53LV38GalxD2Y&m=aQwcGmt0_urp7RDhNMOEuY0d9YGSPAEzS5xAEcrltEfcPc9mJbagWZ-atwt8m6SD&s=i22peDdbqIIv0AdKsS5Sv09mYNeEylBECw2f8MKvieM&e=" rel="noreferrer" target="_blank">https://urldefense.proofpoint.com/v2/url?u=https-3A__mtl.mit.edu_mailman_listinfo.cgi_labnetwork&d=DwICAg&c=009klHSCxuh5AI1vNQzSO0KGjl4nbi2Q0M1QLJX9BeE&r=-s6JocV5E0wqGBIx8T7r2r5AeZ7Q3e53LV38GalxD2Y&m=aQwcGmt0_urp7RDhNMOEuY0d9YGSPAEzS5xAEcrltEfcPc9mJbagWZ-atwt8m6SD&s=i22peDdbqIIv0AdKsS5Sv09mYNeEylBECw2f8MKvieM&e=</a>  <br>
</blockquote></div>