
<html><head><meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8"></head><body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;" class="">We also don’t use a crucible - for either Al or Cr actually.<div class=""><br class=""><div class="">

<div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;" class=""><div>N. Shane Patrick<br class="">Manager, Lab Operations and Safety<br class="">Electron Beam Lithography<br class="">Washington Nanofabrication Facility (WNF) <br class="">National Nanotechnology Coordinated Infrastructure (NNCI)<br class="">University of Washington - NanoES<br class="">Fluke Hall 129, Box 352143<br class="">(206) 221-1045<br class=""><a href="mailto:patricns@uw.edu" class="">patricns@uw.edu</a><br class=""><a href="http://www.wnf.washington.edu/" class="">http://www.wnf.washington.edu/</a></div></div>

</div>

<div><br class=""><blockquote type="cite" class=""><div class="">On Aug 29, 2022, at 9:14 AM, Zhichao Wang <<a href="mailto:zhichaow@udel.edu" class="">zhichaow@udel.edu</a>> wrote:</div><br class="Apple-interchange-newline"><div class=""><div dir="ltr" class="">Chandan,<div class=""><br class=""></div>We use a pattern beam with the pattern sweeping/rotating constantly during the deposition, and a fabmate crucible. The rest of the parameters are pretty similar. The highest deposition rate we've tried is 15 Angstrom/s. <div class=""><br class=""></div><div class="">--</div><div class="">Chao</div></div><br class=""><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Aug 29, 2022 at 8:07 AM Chandan H B <<a href="mailto:chandanachar95@gmail.com" class="">chandanachar95@gmail.com</a>> wrote:<br class=""></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr" class="">Dear Lab network community,<div class=""><br class=""></div><div class="">We are currently facing an issue in the deposition of Aluminium in one of our Electron beam evaporation tools, we tried intermetallic, fab mate, copper, glassy coated graphite, and graphite crucibles for the evaporation. It seems that none of them are working out. </div><div class="">We see crucible gets broken at the initial deposition quite often.</div><div class=""><br class=""></div><div class="">Are we missing out on any parameters unchecked?</div><div class="">Kindly recommend us a few parameters or solutions for the same.</div><div class=""><br class=""></div><div class="">Any suggestions/Inputs are highly appreciated.</div><div class="">Thanks in advance!</div><div class=""><br class=""></div><div class="">Regards,</div><div class="">CHANDAN H B</div><div class="">THIN FILM ENGINEER</div><div class=""><br class=""></div><div class="">P.S: Here are a few parameters that are provided to the tool.</div><div class="">Power: 10KW</div><div class="">Voltage: 10KV constant</div><div class="">Current: Variable </div><div class="">Rise1 & Soak1: 5min & 1min /8min & 2min</div><div class="">Rise1 Power: 4% (for intermetallic crucible)</div><div class="">Rise2 & Soak2: 5min & 1min /8min & 2min<br class=""></div><div class="">Rise2 Power: 8% (for intermetallic crucible)</div><div class="">Ramp down: 5min</div><div class="">Rate of deposition: 0.1nm/sec</div><div class="">Beam Pattern: Spot Beam at the center of the crucible</div><div class="">Crucible Volume: 20cc</div><div class="">Material fill %: As recommended 67-75%</div><div class=""><br class=""></div><div class=""><br class=""></div></div>

_______________________________________________<br class="">

labnetwork mailing list<br class="">

<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank" class="">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br class="">

<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank" class="">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br class="">

</blockquote></div>

_______________________________________________<br class="">labnetwork mailing list<br class=""><a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" class="">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br class="">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork<br class=""></div></blockquote></div><br class=""></div></body></html>