<div dir="ltr">The best way to know if the precursor is empty is to weigh it.<div>Should have a tare weight on it. Another way is to look for a spike in pressure during the pulse step.</div><div>This only works if you are not flowing too much gas.</div><div><br></div><div>Jim</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Tue, Oct 11, 2022 at 7:36 PM Bradash, Mihailo Rayko <<a href="mailto:mbradash@purdue.edu">mbradash@purdue.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div class="msg-3622491982017466132">





<div lang="EN-US" style="overflow-wrap: break-word;">
<div class="m_-3622491982017466132WordSection1">
<p class="MsoNormal">Hello,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I was wondering if anyone here has had any experience with monitoring the precursor gas pressures in a Cambridge Nanotech Fiji ALD? I am using 4021Hafnium> Tetrakis(dimethylamino)hafnium, 98+%, contained in 50 ml Swagelok® cylinder and
 want to know if anyone happen to have a base pressure supplied by the cylinder, and what pressures have you seen before failing/empty? I recently came into this tool and position middle of this year and do not have enough data to for a trend analysis.
<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">Mihailo Bradash<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">Research Engineer<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">Purdue University<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">Birck Nanotechnology Center<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">1205 W. State Street<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">West Lafayette, Indiana 47907<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">Office: (765)494-6522<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif">Cell: (219)670-4974<u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><span style="font-size:12pt;font-family:Garamond,serif"><a href="mailto:mbradash@purdue.edu" target="_blank"><span style="color:rgb(5,99,193)">mbradash@purdue.edu</span></a><u></u><u></u></span></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</div></blockquote></div><br clear="all"><div><br></div>-- <br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div><span style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#000000"><b>Thank you, Jim</b></font></span></div><div dir="ltr"><span style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><b><br></b></i></font></span></div><div dir="ltr"><span style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><b>James Mitchell</b></i></font></span><div style="font-size:12.8px"><font color="#990000"><span style="font-size:12px;background-color:rgb(248,248,248)"><i><font face="verdana, sans-serif"><b>Specialty Trades Technician</b></font></i></span></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Dept. of Electrical and Computer Engineering</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000" style="letter-spacing:0.2px"><i><b>North Carolina State University</b> Nanofabrication Facility (NNF)</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000" style="letter-spacing:0.2px"><i>MRC RM243A </i></font><font color="#990000" face="verdana, sans-serif" style="letter-spacing:0.2px"><i>Box 7911</i></font><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><br></i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font color="#990000" face="verdana, sans-serif" style="letter-spacing:0.2px"><i>2410 Campus Shore Dr., Raleigh, NC 27606</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><a href="mailto:jtmitch5@ncsu.edu" target="_blank"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>jtmitch5@ncsu.edu</i></font></a></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Desk: 919-515-5394</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i>Cell: 919-717-7325</i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><br></i></font></div><div style="font-size:12.8px"><font face="verdana, sans-serif" color="#990000"><i><img width="200" height="112" src="https://ci3.googleusercontent.com/mail-sig/AIorK4wxLimwB_5St7qZJC8ne2SVIfepiREdVM9XtpAnKWtUlUmQ9JVfMo0BrekxVWi9XiOexJNuruk"><br></i></font></div></div></div></div></div></div></div></div></div>