<div dir="ltr"><div dir="ltr">All,<div><br></div><div>We have a user that wants to use our Denton Discovery 18 to sputter a thin film of LLZO. We are concerned about allowing this material into the cleanroom and tool for a few different reasons (toxicity, cross-contamination, reactivity, etc.) but I at least wanted to reach out to see if anyone has allowed this type of material in their sputter deposition tools and if there were any significant issues that should make this type of deposition in a shared piece of equipment and cleanroom a hard no.</div><div><br></div><div>We want to accommodate our users, but we can't risk contaminating the equipment for every user just to appease one. I would love to hear your thoughts or experiences with this material. Thanks in advance for any advice or guidance you can provide.<br></div><div><br></div><div>Eric Fluckiger</div><div>Utah Nanofab</div><div><br></div><div><br></div></div></div>