
<html><head><meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=utf-8"></head><body style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;" class="">Hello Hadi,<div class=""><br class=""></div><div class="">Being in a similar position at the moment, I can say it’s extremely important to understand your emissions requirements. Environmental regulatory agencies are often empowered to issue significant fines and terminate operations, and simply being an educational institution doesn’t necessarily get you off the hook. YMMV of course by country, state/province, etc. You don’t want to get on the wrong side of inspectors. You likely have resources within your institution that can assist with understanding the legal requirements and, maybe, even help you evaluate what need to do.</div><div class=""><br class=""></div><div class="">As an aside, we can say you likely want to do something about any silane effluent - even with heavy dilution and similar flows, the amount of sand in our exhaust lines says that you want to consider maintenance impacts beyond just legal ones. You will also want to understand the documentation and other expectations any maintenance or facilities teams may have if they need to work on your exhaust systems at any point.</div><div class=""><br class=""></div><div class="">We’re currently looking at dry absorption media canisters, but we’ve honestly raised more questions than answers at the moment, so I can’t really point you in a particular direction with any confidence.</div><div class=""><br class=""></div><div class=""><div class=""><div class="">

<div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;" class=""><div>N. Shane Patrick<br class="">Manager, Lab Operations and Safety<br class="">Electron Beam Lithography<br class="">Washington Nanofabrication Facility (WNF) <br class="">National Nanotechnology Coordinated Infrastructure (NNCI)<br class="">University of Washington - NanoES<br class="">Fluke Hall 129, Box 352143<br class="">(206) 221-1045<br class=""><a href="mailto:patricns@uw.edu" class="">patricns@uw.edu</a><br class=""><a href="http://www.wnf.washington.edu/" class="">http://www.wnf.washington.edu/</a></div></div>

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<div><br class=""><blockquote type="cite" class=""><div class="">On Jan 12, 2023, at 11:35 AM, Hadi Esmaeilsabzali <<a href="mailto:hadi_esmaeilsabzali@sfu.ca" class="">hadi_esmaeilsabzali@sfu.ca</a>> wrote:</div><br class="Apple-interchange-newline"><div class=""><meta charset="UTF-8" class=""><div id="divtagdefaultwrapper" dir="ltr" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;" class=""><p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""></p><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class="">Dear Colleagues,</div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><br class=""></div><div class=""><span style="font-size: 11pt;" class="">For those who run PECVD at their facilities</span><span style="font-size: 11pt;" class="">, I am wondering how you process the exhaust from your systems. </span><br class=""></div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><br class=""></div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class="">We used to treat the PECVD exhaust along with that of the SiNx tube furnace through a TPU. We have recently decommissioned our furnace and TPU as they were too costly to run and are looking at alternative exhaust options for the PECVD only. We use our PECVD tool for oxide and nitride deposition, and it's worth noting that it only uses silane (no ammonia).</div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><br class=""></div><div class=""><span style="font-size: 11pt;" class="">Some colleagues had mentioned that they don't use a TPU/scrubber and send the process waste to the building exhaust (untreated). Given that our PECVD processes use a relatively small silane flow (</span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class="">~30 sccm for up to 30 mins per run each week - all max values) and it</span><span style="font-size: 11pt;" class=""> is significantly diluted, this sounded a practical option.</span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 14.6667px;" class=""> </span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class="">I am trying to see if others have tried or can comment on this approach</span><span style="font-size: 11pt;" class="">,<span class="Apple-converted-space"> </span></span>particularly<span style="font-size: 11pt;" class=""> for a silane-based PECVD </span><span style="font-size: 11pt;" class="">process. Aside from the<span class="Apple-converted-space"> </span></span>flammability<span style="font-size: 11pt;" class=""> concerns, we are also aware of the potential oxide buildup in the exhaust system over time. </span></div><div class=""><span style="font-size: 11pt;" class=""><br class=""></span></div><div class=""><span style="font-size: 11pt;" class=""></span><span style="font-size: 11pt;" class="">I appreciate it if you share other (</span><span class="">cost-effective</span>) suggestions you might have for us! </div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><span style="font-size: 11pt;" class=""><br class=""></span></div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><span style="font-size: 11pt;" class="">Thanks,</span></div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><span style="font-size: 11pt;" class="">Hadi</span><br class=""></div><div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><br class=""></div><div id="Signature" style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif, EmojiFont, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", NotoColorEmoji, "Segoe UI Symbol", "Android Emoji", EmojiSymbols; font-size: 11pt;" class=""><div id="divtagdefaultwrapper" dir="ltr" style="" class=""><div id="divtagdefaultwrapper" dir="ltr" style="" class=""><div id="divtagdefaultwrapper" dir="ltr" style="" class=""><p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt;" class=""></p><div class=""><div style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; font-family: wf_segoe-ui_normal, "Segoe UI", "Segoe WP", Tahoma, Arial, sans-serif, serif, EmojiFont; font-size: 15px; color: rgb(33, 33, 33);" class=""><b class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class="">Hadi Esmaeilsabzali, PhD</span></b></div><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class=""></span><div style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; color: rgb(33, 33, 33);" class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class=""></span><span style="font-family: Arial, Helvetica, sans-serif, serif, EmojiFont; font-size: 10pt;" class=""><span style="font-size: 11pt; font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class="">Nanofabrication Group Manager, 4D LABS</span></span></div><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class=""></span><div style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; color: rgb(33, 33, 33);" class=""><span style="font-size: 11pt; font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class="">Simon Fraser University</span><br class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class=""></span></div><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class=""></span><div style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; color: rgb(33, 33, 33);" class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class=""></span><span style="font-family: Corbel, Skia, sans-serif; font-size: 10pt;" class=""></span><span style="font-family: "Segoe UI", "Helvetica Neue", sans-serif; font-size: 9pt;" class=""></span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class=""></span><span style="font-family: Arial, Helvetica, sans-serif, serif, EmojiFont; font-size: 10pt;" class=""></span><span style="font-family: Arial, Helvetica, sans-serif, serif, EmojiFont; font-size: 10pt;" class=""></span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class="">8888 University Dr., Burnaby, B.C. V5A 1S6</span><br class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class=""></span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class=""></span><span style="font-family: Corbel, Skia, sans-serif; font-size: 10pt;" class=""></span><span style="font-family: "Segoe UI", "Helvetica Neue", sans-serif; font-size: 9pt;" class=""></span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class=""></span><span style="font-family: Arial, Helvetica, sans-serif, serif, EmojiFont; font-size: 10pt;" class=""></span><span style="font-family: Arial, Helvetica, sans-serif, serif, EmojiFont; font-size: 10pt;" class=""></span><span style="font-family: Arial, Helvetica, sans-serif, serif, EmojiFont; font-size: 10pt;" class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class="">T: 778.782.3790 | F: 778.782.3765</span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class=""><span class="Apple-converted-space"> </span>| </span></span><a href="https://urldefense.com/v3/__http://www.4dlabs.ca/__;!!K-Hz7m0Vt54!mGfxZI5Ek7lC3Y61IYW9fnwywqXwc4sNdyvP7VnXtzGr9fCM77TNqB-loulRd4uLvla_DMRduMuUpf3XTQ4ahCtfkA$" target="_blank" rel="noopener noreferrer" class="x_OWAAutoLink" id="LPNoLP" tabindex="-1"><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class="">www.4dlabs.ca</span></a></span><br class=""><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;" class=""></span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;" class=""></span><span style="font-family: Corbel, Skia, sans-serif; font-size: 10pt;" class=""></span><span style="font-family: "Segoe UI", "Helvetica Neue", sans-serif; font-size: 9pt;" class=""></span><span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 1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