
<html>

  <head>


    <meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=UTF-8">

  </head>

  <body>

    <p>Dear Networkers,</p>

    <p>I'm new to polyimide processing.  We have a student project that

      requires deposition of metal on polyimide (BPDA/PPD PI-2600 series

      from HD microsystems).  We tried liftoff with depositon of Ti/Pt

      by Ebeam.  Despite a 1min O2 plasma, albeit at low power, the

      metal was peeling off.  Moreover, the photoresist was also peeling

      off from the polyimide.  Does anyone have a good working recipe

      for metalization of polyimide?</p>

    <p>Thanks,</p>

    <p>Mario<br>

    </p>

    <div class="moz-signature">-- <br>

      <img src="cid:part1.mMpOwn0r.5jbjdWQi@physics.ubc.ca" border="0"></div>

  </body>

</html>