<div dir="ltr"><div dir="ltr">We are now buying HSQ from <a href="https://discheminc.com/">Dischem</a>, in Pennsylvania. Dischem and EMresist buy HSQ powder from AQM in Canada, and then mix it in MIBK.<div>The resolution and sensitivity are similar to that of HSQ from Dow, but we found that the Dischem HSQ sticks better if we bake it at 120C after spinning.</div><div>Prices for thin HSQ are high, but manageable. Prices for thick HSQ (like Dow's Fox-16) are prohibitively expensive. We will have to rework our processes when we run out. We store HSQ in liquid nitrogen, so shelf life is not an issue. You can also buy HSQ powder directly from AQM.</div><div><br></div><div><div><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr">--------------------------------<div><font size="1">Michael Rooks</font></div><div><font size="1"><a href="http://nano.yale.edu" target="_blank">nano.yale.edu</a></font> </div></div></div></div><br></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Wed, Feb 15, 2023 at 3:59 PM Matt Moneck <<a href="mailto:mmoneck@andrew.cmu.edu">mmoneck@andrew.cmu.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div class="msg7324305837071849288"><div lang="EN-US" style="overflow-wrap: break-word;"><div class="m_7324305837071849288WordSection1"><p class="MsoNormal">Hi All,</p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">I would like to solicit your feedback on HSQ options for ebeam litho.  Our group has traditionally worked with Dow Corning’s XR-1541-002 HSQ, and it has fit our needs for many years.  However, as our stock is now reaching a reorder point, we have reached out to vendors for quotes only to find that pricing has increased to a level we could have never imagined (not to mention lead times on the order of 80 business days).  With that in mind, we have been looking at alternative suppliers, including EM Resist (distributed through Integrated Micro Materials) and Allresist (Medusa 82).  </p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">If anyone has experience working with the EM Resist and Allresist products, we would appreciate any feedback you might you might have on how they compare to the XR-1541.  For example, do you see any major differences in resolution, adhesion, dosing, etch resistance, etc.?  </p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">If you have other alternatives, we would love to hear about them as well, although, we do prefer to buy pre-mixed solutions as opposed to mixing dry HSQ with MIBK ourselves.  </p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">Best Regards,</p><p class="MsoNormal"><br>Matt</p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p><p class="MsoNormal">--<br>Matthew T. Moneck, Ph.D<br>Executive Director, Claire & John Bertucci Nanotechnology Laboratory<br>Electrical & Computer Engineering | Carnegie Mellon University<br>5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, PA 15213-3890<br>Phone: 412-268-5430<br><a href="http://ece.cmu.edu" target="_blank">ece.cmu.edu</a> <br><a href="http://nanofab.ece.cmu.edu" target="_blank">nanofab.ece.cmu.edu</a> </p><p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p></div></div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</div></blockquote></div></div>