<div dir="ltr"><div>Dear Lab Network, particularly members who've had to coax 80s tools back to life,</div><div><br></div><div>At the University of Washington's WNF, we have a Strasbaugh 7AA grinder via Axus that is failing. The wafer thickness measurement, which gates initializing and processing, has been corrupted (we believe somewhere in the G&L board cage, the signal is accurate up to there) and the tool can't proceed. <br></div><div><br></div><div>Specifics on the behavior we're seeing:</div><div>- 0 measurement brings back 6560 microns</div><div>- thickness measurements are nonlinearly subtracted rather than added to this: e.g. expected measurement of 600 brings back 5460</div><div>- bottoms out at about 2640</div><div><br></div><div>Getting replacement boards is going slowly and we're interested in a workaround that's preferably a step above manual mode. Is anyone familiar with the Strasbaugh 7AA or similar tools who has advice? Some of our ideas include:</div><div>- Reset EPROM board/chips<br></div><div>- Force the tool to accept an initialization sequence (wafer thickness can be backfilled as long as the initialization is accepted)</div><div>- Get into the ladder logic of the tool<br></div><div><br></div><div>Any advice or experience is much appreciated. Regards,</div><div><br></div><div>Sarice<br></div><div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div style="color:rgb(80,0,80)"><p class="MsoNormal"><br></p><p class="MsoNormal"><span style="color:black;font-family:Helvetica;font-size:9pt">Sarice B. Jones</span><br></p><p class="MsoNormal"><span style="color:black;font-family:Helvetica;font-size:9pt">Facilities Engineer, Washington Nanofabrication Facility (WNF) </span><span style="font-size:9pt;font-family:Helvetica;color:black"><br></span></p></div><div style="color:rgb(80,0,80)"><p class="MsoNormal"><span style="font-size:9pt;font-family:Helvetica;color:black">University of Washington, Fluke Hall 115</span></p><p class="MsoNormal"><span style="font-size:9pt;font-family:Helvetica;color:black">(206) 685-7757<br><a href="mailto:sbjones@uw.edu" target="_blank">sbjones@uw.edu</a><br><a href="http://www.wnf.washington.edu/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">http://www.wnf.washington.edu/</a></span></p></div></div></div></div></div></div></div>