
<html><head><meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=utf-8"></head><body style="overflow-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;">Hi Saba, <div><br></div><div>Was the process a pure Ta sputtering or reactive sputtering? For a pure Ta DC power sputtering process, usually it shouldn’t generate that much particles. Ta coating on the sputter gun house/chimney should have a good adhesion. Any accumulated particles on the Ta target surface after ~ 2 hours sputtering?</div><div><br></div><div>If the chimney or clamp ring for the target has been coated too much materials, you need to clean the whole kit and measure the gun to the ground layer by layer once you install a target. Another issue could be that some magnets got demagnetized which cannot provide strong magnetic field on the target surface. </div><div><br></div><div>What was the strike condition, like pressure, power, gun voltage/current? Did you see whether the voltage/current can stabilize once the plasma was generated?</div><div><br></div><div>There are several ways to figure out it is the sputter gun issue or a Ta target issue. Normally targets should be fine. </div><div><br></div><div>Thanks.</div><div><br></div><div><br></div><div><br></div><div>Best,</div><div>Jing<br><div>

<div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div dir="auto" style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">---------------------------------------</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Jing Guo Ph.D.</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Research Scientist</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">SEA Cleanroom (SST 017)</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Rice University</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Houston, TX </div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">jeanne.guo@rice.edu</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">713-348-8227</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;"><br></div><br class="Apple-interchange-newline"></div></div><br class="Apple-interchange-newline"></div><br class="Apple-interchange-newline"></div><br class="Apple-interchange-newline"><br class="Apple-interchange-newline">

</div>

<div><br><blockquote type="cite"><div>On Apr 13, 2023, at 6:55 PM, Saba Sadeghi <saba.sadeghi@uwaterloo.ca> wrote:</div><br class="Apple-interchange-newline"><div><meta charset="UTF-8"><div class="elementToProof" style="font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-size: 11pt;">Dear Labnetwork community,</span><o:p class="ContentPasted0" style="font-family: inherit; font-size: 11pt; font-style: inherit; font-variant-ligatures: inherit; font-variant-caps: inherit; font-weight: inherit;"> </o:p><br></div><div class="elementToProof" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;"><div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;"><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"><o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="ContentPasted0" style="font-size: 11pt;">I am having an issue with magnetron-sputtering of tantalum with DC power. After a few minutes of sputtering Ta glow spots appear on the surface of the target that eventually cause the plasma to distinguish. <span class="ContentPasted0" style="border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"> I have loaded two fresh 0.31”-thick Ta targets, but both times the same problem occurred, and both times it generated enough particles in a short amount of time ( about 2 hours of sputtering, accumulatively) that led to shorting of the source.<o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"><o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="ContentPasted0" style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm;">I suspected that this might be a cooling issue, but there is enough flow rate at the sputtering source,<span class="ContentPasted1" style="background-color: rgb(255, 255, 255); display: inline !important;">and I use indium thin foil for thermal contact between the cathode and the target </span></span><span class="ContentPasted0 ContentPasted2" style="border: 1pt none windowtext; font-size: 11pt; padding: 0cm;">(recommended by the company- MeiVac).</span><span style="font-size: 11pt;"><o:p class="ContentPasted0 ContentPasted2"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"><br></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Have you experienced such a problem? I am wondering if this could be an issue with the sputtering source or could somehow the two Ta targets I loaded have been compromised?<span class="Apple-converted-space"> </span><o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"><o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Thank you very much.<o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"><o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Best regards,<o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Saba Sadeghi<o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">IQC, University of Waterloo<o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"><o:p class="ContentPasted0"> </o:p></span></div><br></div><div id="Signature"><div><div id="divtagdefaultwrapper" dir="ltr" style="font-size: 12pt; font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;"></div></div></div></div><span style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; float: none; display: inline !important;">_______________________________________________</span><br style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;"><span style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; float: none; display: inline !important;">labnetwork mailing list</span><br style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;"><a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;"><a href="https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!BuQPrrmRaQ!kxlcKJiirMsFBnN6_pix8dvETfN-5vXnpaJXAA_4g3Jh5zmL_s-vuowA7xmr2s77ZKDztvk-khToRLa3a5M1qDmnShX9c4XwH0zL-Q$" style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; orphans: auto; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; widows: auto; word-spacing: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px;">https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!BuQPrrmRaQ!kxlcKJiirMsFBnN6_pix8dvETfN-5vXnpaJXAA_4g3Jh5zmL_s-vuowA7xmr2s77ZKDztvk-khToRLa3a5M1qDmnShX9c4XwH0zL-Q$</a><span style="caret-color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; float: none; display: inline !important;"></span></div></blockquote></div><br></div></body></html>