<html><head><meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=utf-8"></head><body style="overflow-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;">Hi Saba, <div><br></div><div>The strike pressure (2e-3 mbar which is about 1.5 mTorr) sounds too low for me. Usually from my sputter system, the strike pressure would be 20~30 mTorr, then we would adjust it below 5 mTorr for deposition. </div><div>If the pressure is low, sometime there will be some difficulties to start the plasma. It might be the reason it cannot support the stable plasma status especially for brand new targets. </div><div><br></div><div>If your system can show you the current, voltage for the sputter gun including ‘50W’, you may be able to get more information once the plasma is struggling. </div><div>The flakes on the target could be generated by too much arching during the sputtering process. You could test a different easy target like Al on the same gun to see what is the performance. </div><div><br></div><div>I also agree with Michael about the magnets. What does the magnet look like, a ring magnet? If you have a Gauss meter, you can check the magnets’ condition. If not, check it as Micheal suggested. If the sputtered mark on the target is not a regular ring, you’d better check the magnets underneath. </div><div><br></div><div><br></div><div><br></div><div>Best,</div><div>Jing<br><div>
<div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div dir="auto" style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none; word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div dir="auto" style="word-wrap: break-word; -webkit-nbsp-mode: space; line-break: after-white-space;"><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">---------------------------------------</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Jing Guo Ph.D.</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Research Scientist</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">SEA Cleanroom (SST 017)</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Rice University</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">Houston, TX </div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">jeanne.guo@rice.edu</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;">713-348-8227</div><div style="caret-color: rgb(0, 0, 0); color: rgb(0, 0, 0); font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration: none;"><br></div><br class="Apple-interchange-newline"></div></div><br class="Apple-interchange-newline"></div><br class="Apple-interchange-newline"></div><br class="Apple-interchange-newline"><br class="Apple-interchange-newline">
</div>
<div><br><blockquote type="cite"><div>On Apr 15, 2023, at 1:55 PM, Michael Yakimov <yakimom@sunypoly.edu> wrote:</div><br class="Apple-interchange-newline"><div><meta charset="UTF-8"><div class="elementToProof" style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; background-color: rgb(255, 255, 255);">I would check magnets' condition. Once upon a time, I had a ring magnet on a similar one to partially lose magnetization. The result was the strange shape of plasma and a few other funny things. Once removed, it was fairly obvious that the screwdriver sticks to some areas better than others.<span class="Apple-converted-space"> </span><br></div><div><div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt;"><br></div><div id="Signature"><div><div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt;"><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>_______________________________________________<br></span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>Michael Yakimov</span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>Research scientist</span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>College of Nanoscale Science and Engineering</span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>SUNY Polytechnic Institute</span></div><p style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span> </span></p><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>253 Fuller rd.</span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>Albany NY 12203</span></div><p style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span> </span></p><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>Phone: 518-437-8609 lab</span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span>e-mail:<span class="Apple-converted-space"> </span><a href="mailto:yakimom@sunypoly.edu">yakimom@sunypoly.edu</a></span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><span><br></span></div><div style="margin: 0px; font-size: 11pt; font-family: Calibri, sans-serif;"><br><span></span></div><br></div></div></div></div><div id="appendonsend"></div><hr tabindex="-1" style="display: inline-block; width: 665.40625px;"><div id="divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" style="font-size: 11pt;"><b>From:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>labnetwork <<a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu">labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a>> on behalf of Saba Sadeghi <<a href="mailto:saba.sadeghi@uwaterloo.ca">saba.sadeghi@uwaterloo.ca</a>><br><b>Sent:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>Friday, April 14, 2023 4:15 PM<br><b>To:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>Jing Guo <<a href="mailto:jeanne.guo@rice.edu">jeanne.guo@rice.edu</a>><br><b>Cc:</b><span class="Apple-converted-space"> </span><a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><span class="Apple-converted-space"> </span><<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>><br><b>Subject:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>Re: [labnetwork] Sputtering issue</font><div> </div></div><div><div><div class="x_elementToProof" style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; background-color: rgb(255, 255, 255);"><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt;">Hi Jing, </span></div><p class="x_MsoNormal" style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"> </span></p><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt;">Thanks a lot for getting back to me and the helpful discussion. </span></div><p class="x_MsoNormal" style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"> </span></p><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt;">This was a pure Ta sputtering.<span class="Apple-converted-space"> </span></span><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);">I could ignite the plasma at 50 W, 30 sccm Ar, 2E-3 mbar pressure but then the glow spots appear after a few minutes which led to the plasma extinguishing! I could reignite the plasma again by ramping down the power and then up to 50W! by the two hours of sputtering, I meant the sputtering collectively lasted two hours until it shorted.  </span></div><p class="x_MsoNormal" style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);"> </span></p><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);">The sputtering gun housing were clean before the sputtering, but after it looks like particles accumulated on the surface of the target! and eventually ended up in the housing and caused the short (picture attached) </span></div><p class="x_MsoNormal" style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);"> </span></p><p class="x_MsoNormal" style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);"> </span></p><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);">Thank you. </span></div><p class="x_MsoNormal" style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);"> </span></p><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);">Best, </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_ContentPasted0" style="font-size: 11.5pt; font-family: "Segoe UI", sans-serif; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white; color: rgb(36, 36, 36);">Saba</span><span style="font-size: 11pt;"> </span></div><br></div><div id="x_appendonsend"></div><div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;"><br></div><hr tabindex="-1" style="display: inline-block; width: 665.40625px;"><div id="x_divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" style="font-size: 11pt;"><b>From:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>Jing Guo <<a href="mailto:jeanne.guo@rice.edu">jeanne.guo@rice.edu</a>><br><b>Sent:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>April 14, 2023 10:25 AM<br><b>To:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>Saba Sadeghi <<a href="mailto:saba.sadeghi@uwaterloo.ca">saba.sadeghi@uwaterloo.ca</a>><br><b>Cc:</b><span class="Apple-converted-space"> </span><a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><span class="Apple-converted-space"> </span><<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a>><br><b>Subject:</b><span class="Apple-converted-space"> </span>Re: [labnetwork] Sputtering issue</font><div> </div></div><div style="line-break: after-white-space;">Hi Saba, <div><br></div><div>Was the process a pure Ta sputtering or reactive sputtering? For a pure Ta DC power sputtering process, usually it shouldn’t generate that much particles. Ta coating on the sputter gun house/chimney should have a good adhesion. Any accumulated particles on the Ta target surface after ~ 2 hours sputtering?</div><div><br></div><div>If the chimney or clamp ring for the target has been coated too much materials, you need to clean the whole kit and measure the gun to the ground layer by layer once you install a target. Another issue could be that some magnets got demagnetized which cannot provide strong magnetic field on the target surface. </div><div><br></div><div>What was the strike condition, like pressure, power, gun voltage/current? Did you see whether the voltage/current can stabilize once the plasma was generated?</div><div><br></div><div>There are several ways to figure out it is the sputter gun issue or a Ta target issue. Normally targets should be fine. </div><div><br></div><div>Thanks.</div><div><br></div><div><br></div><div><br></div><div>Best,</div><div>Jing<br><div><div dir="auto" style="letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><div dir="auto" style="letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><div dir="auto" style="letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><div dir="auto" style="overflow-wrap: break-word; line-break: after-white-space;"><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;">---------------------------------------</div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;">Jing Guo Ph.D.</div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;">Research Scientist</div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;">SEA Cleanroom (SST 017)</div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;">Rice University</div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;">Houston, TX </div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><a href="mailto:jeanne.guo@rice.edu">jeanne.guo@rice.edu</a></div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;">713-348-8227</div><div style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: normal; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><br></div><br class="x_x_Apple-interchange-newline"></div></div><br class="x_x_Apple-interchange-newline"></div><br class="x_x_Apple-interchange-newline"></div><br class="x_x_Apple-interchange-newline"><br class="x_x_Apple-interchange-newline"></div><div><br><blockquote type="cite"><div>On Apr 13, 2023, at 6:55 PM, Saba Sadeghi <<a href="mailto:saba.sadeghi@uwaterloo.ca">saba.sadeghi@uwaterloo.ca</a>> wrote:</div><br class="x_x_Apple-interchange-newline"><div><div class="x_x_elementToProof" style="font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none; font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-size: 11pt;">Dear Labnetwork community,</span> <br></div><div class="x_x_elementToProof" style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt;"><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"> </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt;">I am having an issue with magnetron-sputtering of tantalum with DC power. After a few minutes of sputtering Ta glow spots appear on the surface of the target that eventually cause the plasma to distinguish. <span class="x_x_ContentPasted0" style="border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"> I have loaded two fresh 0.31”-thick Ta targets, but both times the same problem occurred, and both times it generated enough particles in a short amount of time ( about 2 hours of sputtering, accumulatively) that led to shorting of the source. </span></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"> </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_x_ContentPasted0" style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm;">I suspected that this might be a cooling issue, but there is enough flow rate at the sputtering source,<span class="x_x_ContentPasted1" style="background-color: rgb(255, 255, 255); display: inline !important;">and I use indium thin foil for thermal contact between the cathode and the target </span></span><span class="x_x_ContentPasted0 x_x_ContentPasted2" style="border: 1pt none windowtext; font-size: 11pt; padding: 0cm;">(recommended by the company- MeiVac).</span><span style="font-size: 11pt;"> </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"><br></span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Have you experienced such a problem? I am wondering if this could be an issue with the sputtering source or could somehow the two Ta targets I loaded have been compromised?<span class="x_x_Apple-converted-space"> </span> </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"> </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Thank you very much. </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;"> </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Best regards, </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">Saba Sadeghi </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span class="x_x_ContentPasted0" style="font-size: 11pt; border: 1pt none windowtext; padding: 0cm; background-color: white;">IQC, University of Waterloo </span></div><div style="margin: 0cm; font-size: 12pt; font-family: Calibri, sans-serif; background-color: white;"><span style="font-size: 11pt;"> </span></div><br></div><div id="x_x_Signature"><div><div id="x_x_divtagdefaultwrapper" dir="ltr" style="font-size: 12pt; font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif;"></div></div></div></div><span style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none; float: none; display: inline !important;">_______________________________________________</span><br style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><span style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none; float: none; display: inline !important;">labnetwork mailing list</span><br style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" data-auth="NotApplicable" data-loopstyle="link" style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px;">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none;"><a href="https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!BuQPrrmRaQ!kxlcKJiirMsFBnN6_pix8dvETfN-5vXnpaJXAA_4g3Jh5zmL_s-vuowA7xmr2s77ZKDztvk-khToRLa3a5M1qDmnShX9c4XwH0zL-Q$" data-auth="NotApplicable" style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px;">https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!BuQPrrmRaQ!kxlcKJiirMsFBnN6_pix8dvETfN-5vXnpaJXAA_4g3Jh5zmL_s-vuowA7xmr2s77ZKDztvk-khToRLa3a5M1qDmnShX9c4XwH0zL-Q$</a><span style="font-family: Helvetica; font-size: 12px; font-style: normal; font-variant-caps: normal; font-weight: 400; letter-spacing: normal; text-align: start; text-indent: 0px; text-transform: none; white-space: normal; word-spacing: 0px; text-decoration: none; float: none; display: inline !important;"></span></div></blockquote></div><br></div></div><div id="x_ms-outlook-mobile-signature" dir="auto"><div><br></div>Get<span class="Apple-converted-space"> </span><a href="https://urldefense.com/v3/__https://aka.ms/AAb9ysg__;!!BuQPrrmRaQ!k2g1scR3qzaeb1tQiLClZN7JqMS_fLnM-wyk1ysARAGyBpfKIZWZuoqQZhz12L8yMBYH7O--WSID-TelN2s3r664Qnj0AR8$">Outlook for Android</a></div></div>_______________________________________________<br>labnetwork mailing list<br><a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br><a href="https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!BuQPrrmRaQ!k2g1scR3qzaeb1tQiLClZN7JqMS_fLnM-wyk1ysARAGyBpfKIZWZuoqQZhz12L8yMBYH7O--WSID-TelN2s3r6647R5jRGI$">https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!BuQPrrmRaQ!k2g1scR3qzaeb1tQiLClZN7JqMS_fLnM-wyk1ysARAGyBpfKIZWZuoqQZhz12L8yMBYH7O--WSID-TelN2s3r6647R5jRGI$</a><span class="Apple-converted-space"> </span><br></div></div></blockquote></div><br></div></body></html>