
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=Windows-1252">

<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

</head>

<body dir="ltr">

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

I use <span style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">Brewer Science, XHRiC I-line Anti Reflective Coating.</span></div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0">

See:</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1">

<a href="https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/images/3/33/XHRiC-Anti-Reflective-Coating.pdf" id="LPlnk828063">https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/images/3/33/XHRiC-Anti-Reflective-Coating.pdf</a><br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1">

See also:</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1 ContentPasted2">

H. Northfield, O. Krupin, R. N. Tait, and P. Berini, “Tri-layer contact photolithography process for high-resolution lift-off,” Microelectron. Eng. 241 (2021).<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1 ContentPasted2">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1 ContentPasted2">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1 ContentPasted2 ContentPasted3">

Howard Northfield

<div class="ContentPasted3">Research Associate</div>

<div class="ContentPasted3">Advanced Research Complex (ARC)</div>

University of Ottawa<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0 ContentPasted1">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof ContentPasted0">

<br>

</div>

<div id="appendonsend"></div>

<hr style="display:inline-block;width:98%" tabindex="-1">

<div id="divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" style="font-size:11pt" color="#000000"><b>From:</b> labnetwork <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu> on behalf of Bikash Dev Choudhury <d.c.bikash@iitb.ac.in><br>

<b>Sent:</b> Friday, June 23, 2023 5:26 AM<br>

<b>To:</b> labnetwork@mtl.mit.edu <labnetwork@mtl.mit.edu><br>

<b>Subject:</b> [labnetwork] Antireflective coating for Litho process</font>

<div> </div>

</div>

<div style="font-size:10pt; font-family:Verdana,Geneva,sans-serif">

<div style="font-size:9pt; font-family:'calibri'; color:#FF4233"><b>Attention : courriel externe | external email</b></div>

<div>

<p>Dear Labnetwork,</p>

<p>I am looking for antireflective coating for both top and bottom layer in photolitho process. </p>

<p>Looking forward for any lead/info.</p>

<p>Thanks in advance!</p>

<div id="x_signature">

<div class="x_pre" style="margin:0; padding:0; font-family:monospace">--<br>

Best Regards<br>

Dr. Bikash Dev Choudhury<br>

Sr. Process Technologist<br>

CEN, IITBNF<br>

Electrical Engineering Department<br>

IIT Bombay, Mumbai-400076<br>

Mobile No. 7400319871</div>

</div>

</div>

</div>

</body>

</html>