<div dir="ltr"><div>
<div>Robert,</div><div>Interesting question. I think it's driven by cost<br></div><div>Ar is almost 1% in air while all other noble gases are in the ppm range (Kr ~1ppm)</div><div>The ionization energy for Ar and Kr is similar (both much lower than Ne and He) <br></div><div>so you get good ionization yield from Ar. I'm not sure that the sputter yield gain of <br></div><div>Kr would be worth the significant additional cost.</div><div>I'm curious what other replies you receive.</div><div><br></div><div>Bill Flounders</div><div>UC Berkeley<br></div>

</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Aug 31, 2023 at 10:48 AM Macdonald, Robert (GE Aerospace, US) <<a href="mailto:robert.macdonald@ge.com">robert.macdonald@ge.com</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div class="msg8004317269049637269">





<div lang="EN-US" style="overflow-wrap: break-word;">
<div class="m_8004317269049637269WordSection1">
<p class="MsoNormal">Hi all,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I’m wondering when folks use Krypton or other noble gasses for sputtering in their facilities, and why. I have read that ideally, one matches the atomic weight of the target with the gas. Thus, Neon for lighter targets, Krypton for heavier.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">In practice I see Ar used for all materials.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Any thoughts or opinions would be of interest.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thanks,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Rob<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Robert MacDonald<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">MEMS Engineer<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">GE Research<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">1 Research Circle<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Niskayuna, NY 12309<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">518 312-5646<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="mailto:Robert.macdonald@ge.com" target="_blank">Robert.macdonald@ge.com</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</div></blockquote></div>