<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="color:#0b5394">Hi Rob,</div><div class="gmail_default" style="color:#0b5394"><br></div><div class="gmail_default" style="color:#0b5394">The main factor in most cases is cost.  Argon is heavy enough to provide good sputter yield in most cases, and cheap enough that it typically wins in terms of economics and efficiency.  That said, there are use cases for the other gases.  We used to run projects developing magnetic media for hard disk applications.  There have been studies done looking at the effects of neon, krypton, argon, and even xenon on the film growth and the resulting grain structure, and there can be differences, especially if you are doing bias sputtering.  On the flip side, similar studies have been done for ion beam etching, where there are advantages of using krypton or neon over argon.  For example, you can change the etching profile and in some cases minimize the faceting effects.  </div><div class="gmail_default" style="color:#0b5394"><br></div><div class="gmail_default" style="color:#0b5394">Best Regards,</div><div class="gmail_default" style="color:#0b5394"><br>Matt</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Aug 31, 2023 at 1:49 PM Macdonald, Robert (GE Aerospace, US) <<a href="mailto:robert.macdonald@ge.com">robert.macdonald@ge.com</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div class="msg774765669693448063">





<div lang="EN-US" style="overflow-wrap: break-word;">
<div class="m_774765669693448063WordSection1">
<p class="MsoNormal">Hi all,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">I’m wondering when folks use Krypton or other noble gasses for sputtering in their facilities, and why. I have read that ideally, one matches the atomic weight of the target with the gas. Thus, Neon for lighter targets, Krypton for heavier.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">In practice I see Ar used for all materials.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Any thoughts or opinions would be of interest.<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Thanks,<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Rob<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
<p class="MsoNormal">Robert MacDonald<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">MEMS Engineer<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">GE Research<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">1 Research Circle<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">Niskayuna, NY 12309<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal">518 312-5646<u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><a href="mailto:Robert.macdonald@ge.com" target="_blank">Robert.macdonald@ge.com</a><u></u><u></u></p>
<p class="MsoNormal"><u></u> <u></u></p>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</div></blockquote></div><br clear="all"><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><p class="MsoNormal">--<br>
Matthew T. Moneck, Ph.D<br>
Executive Director, Claire & John Bertucci Nanotechnology Laboratory<br>
Electrical & Computer Engineering | Carnegie Mellon University<br>
5000 Forbes Avenue, Pittsburgh, PA 15213-3890<br>
Phone: 412-268-5430<br>
<a href="http://ece.cmu.edu" target="_blank">ece.cmu.edu</a> <br>
<a href="http://nanofab.ece.cmu.edu" target="_blank">nanofab.ece.cmu.edu</a> </p></div></div>