
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=iso-8859-1">

<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

</head>

<body dir="ltr">

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

Lab Network,</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

I have a Sputtered PZT film on a seed layer/ bottom electrode of ~200nm Sputtered Pt (on thermal SiO2/ SOI- substrate). Any idea if I can use the Pt surface as an etch stop while using Ar (physical etch) in RIE? </div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

In previous such devices involving this process, I have had difficulty wire bonding this Pt surface. Is it possible the Pt has eroded too much for wire bonding?</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

Does anyone have the etch selectivity data between sputtered PZT vs. Pt for Ar-RIE?</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

I have a PR mask of AZ4562 (~6um thickness).</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

Thank you!</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt;">--</span></div>

<div class="elementToProof"><span data-ogsc="rgb(0, 0, 0)" style="font-size: 12pt; font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; margin: 0px; color: rgb(0, 0, 0); background-color: rgb(255, 255, 255);"><span data-ogsc="" style="font-size:9pt;margin:0px">Goutam

 P (Process Integration Engineer</span><span data-ogsc="rgb(0, 0, 0)" style="font-size:9pt;margin:0px">),</span></span></div>

<div data-ogsc="rgb(0, 0, 0)" style="font-size: 12pt; font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; margin: 0px; color: rgb(0, 0, 0); background-color: rgb(255, 255, 255);">

<span data-ogsc="" style="font-size:9pt;margin:0px">National Nano-fabrication Centre (NNfC),</span></div>

<div data-ogsc="rgb(0, 0, 0)" style="font-size: 12pt; font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; margin: 0px; color: rgb(0, 0, 0); background-color: rgb(255, 255, 255);">

<span data-ogsc="" style="font-size:9pt;margin:0px">Centre for Nano Science and Engineering (CeNSE),</span></div>

<span data-ogsc="rgb(0, 0, 0)" style="font-size: 12pt; font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; margin: 0px; color: rgb(0, 0, 0); background-color: rgb(255, 255, 255);"><span data-ogsc="" style="font-size:9pt;margin:0px">Indian Institute of Science

 (IISc.), Bengaluru-560012</span></span>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<span style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt;"></span><br>

</div>

<div style="font-family: Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);" class="elementToProof">

<br>

</div>

</body>

</html>