<div dir="ltr">Hi everyone,<div><br></div><div>We are looking at a sputtering system for complex oxides and one of the materials of interest is PZT. Does anyone have any tips for best practices to avoid process contamination, and safe maintenance procedures for the chamber?</div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>Nadia<br clear="all"><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div>Nadia Pervez, PhD</div><div>Cleanroom Research Scientist</div><div>Shared Equipment Authority (SEA)</div><div>Rice University</div><div>6100 Main St, MS-686</div><div>Houston, TX 77005</div><div><a href="mailto:np65@rice.edu" target="_blank">np65@rice.edu</a><br></div><div>Office: SST-017, 713-348-5069 <br></div><div>Cell: 805-284-1193 </div></div></div></div></div>