<div dir="ltr">I'd recommend Applied Energy Systems gas cabinets and VMB's.<br></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Dec 4, 2023 at 8:11 AM Russell Renzas <<a href="mailto:rrenzas@unr.edu">rrenzas@unr.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div>
<div dir="ltr">
<div dir="ltr">Hi, I'm Russ, some of you know me from Oxford Instruments - I just left to direct a new 3k sqft academic fab at University of Nevada Reno.  </div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">How do the smaller university fabs handle toxic gas delivery? e.g. Cl2, BCl3, H2... Any recommendations for systems/vendors? And do you generally keep cylinders for that in an external bunker-type place, or nearer point of use (in a service chase)?
  SF6 and the like don't need anything special, correct?</div>
<div id="m_-7194617688428685553ms-outlook-mobile-signature">
<div><br>
</div>
<div dir="ltr">Also is it now typical to abate fluorinated etch gases which I thought requires expensive burn boxes, or do the dry bed systems suffice? </div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">Bit embarrassed that I don't know this stuff better, but I never had to think about it before. </div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">Happy holidays,</div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">Russ</div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">
<div dir="ltr">Russ Renzas</div>
<div dir="ltr">University of Nevada, Reno</div>
<div dir="ltr"><a href="https://urldefense.com/v3/__https://scholar.google.com/citations?user=_4TTYQoAAAAJ&hl=en__;!!IBzWLUs!X3BsOnYi-zers1pYSfUp6Rov5zE-QwMgZ3Qfubsf7liWUqN_f4LT70eD-KfU52YzHL5SRYc56kvJZgS1uCQH$" target="_blank">Google Scholar</a>,
<a href="https://urldefense.com/v3/__https://www.linkedin.com/in/renzas__;!!IBzWLUs!X3BsOnYi-zers1pYSfUp6Rov5zE-QwMgZ3Qfubsf7liWUqN_f4LT70eD-KfU52YzHL5SRYc56kvJZrixNt4w$" target="_blank">LinkedIn</a></div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">— My position at UNR starts in mid-January 2024. —</div>
</div>
</div>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!IBzWLUs!X3BsOnYi-zers1pYSfUp6Rov5zE-QwMgZ3Qfubsf7liWUqN_f4LT70eD-KfU52YzHL5SRYc56kvJZgNWpd-Z$" rel="noreferrer" target="_blank">https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!IBzWLUs!X3BsOnYi-zers1pYSfUp6Rov5zE-QwMgZ3Qfubsf7liWUqN_f4LT70eD-KfU52YzHL5SRYc56kvJZgNWpd-Z$</a> <br>
</blockquote></div><br clear="all"><br><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div>Kyle Keenan</div><div><br></div><div>Senior Manager - Laboratory Operations<br></div><div>Quattrone Nanofabrication Facility</div><div>University of Pennsylvania</div><div>P: 215-898-7560</div><div>F: 215-573-4925<br></div></div></div>