<div dir="ltr">We have recently had a failure of the VAT valve PM-7 controller on our STS DRIE.  I've tried contacting SPTS, VAT and distributors for help.  The CM gauge read back always reads 100mTorr(maximum) at the controller.  I've measured and verified that the correct voltage to and from the CM gauge is correct.  So, I have verified that the problem is the VAT PM-7 control box.  Has anyone on  the list had a similar issue with the controller?  And is there someone still supporting the STS multiplex DRIE?<div><br></div><div>Thank you<br clear="all"><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Mike Call <br>CORE Facilities Manager<br>University of Maine</div><div>Coordinated Operating Research Entities Cleanroom/TASC </div><div>ESRB Barrows Hall Room 294<br></div><div>207-581-3382</div><div><img width="200" height="90" src="https://ci3.googleusercontent.com/mail-sig/AIorK4zSLdJ1j6oJvWxnjJq9B-cnc8zTM6HSHyLqdX5rg3c7diC0sz-_-2H5t3FOKOobCH-tGU5_-6w"><br></div><div><img src="cid:ii_k36d2cvb1" alt="image.png" style="margin-right:0px" width="208" height="75"></div></div></div></div></div></div></div>