<div dir="auto">Hi Russ,<div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Hope you doing well.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">For Cl2, BCl3, HBr you can have a gas cabinet and you use near point of use. We had that at Caltech. AES was the vendor for the gas cabinet. Also Norcimbus (reverse of submicron). </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Gases such as SF6, CF4, are considered inert and don't need gas detectors or cabinets. </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Mostly your flow rates will be low and I have seen academia avoiding scrubber for Cl2 but ideally they are recommended and must. These gases are toxic so you need toxic gas alarms inside the cabinet, which usually have it, and also near the tool or chase where there is possibility of leak. You need toxic gas alarm system which connects your gas detectors in cabinet, near the tool, etc where you have installed them.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Co-axial lines (SS) are recommended/must for toxic gases. It's a secondary containment. BCL3 condensation is a concern but ideally you use it at a pressure that you don't need heater jackets on the SS tubing. I also heard heater jackets can't cover the lines 100% anyway so that condenses regardless. </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Toxic gas cabinets are common and most importantly they have auto shut off valve and purge options. There are many features on these cabinets and vendors can walk you through for what's absolutely needed. </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">For H2, if it's forming gas, it's not much of a concern, I think. For 100%H2 cabinet is a must I think. </div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Thanks,</div><div dir="auto">Kamal </div><br><br><div class="gmail_quote" dir="auto"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Dec 4, 2023, 6:09 AM Russell Renzas <<a href="mailto:rrenzas@unr.edu">rrenzas@unr.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex">



<div>
<div dir="ltr">
<div dir="ltr">Hi, I'm Russ, some of you know me from Oxford Instruments - I just left to direct a new 3k sqft academic fab at University of Nevada Reno.  </div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">How do the smaller university fabs handle toxic gas delivery? e.g. Cl2, BCl3, H2... Any recommendations for systems/vendors? And do you generally keep cylinders for that in an external bunker-type place, or nearer point of use (in a service chase)?
  SF6 and the like don't need anything special, correct?</div>
<div id="m_3685896744322841718ms-outlook-mobile-signature">
<div><br>
</div>
<div dir="ltr">Also is it now typical to abate fluorinated etch gases which I thought requires expensive burn boxes, or do the dry bed systems suffice? </div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">Bit embarrassed that I don't know this stuff better, but I never had to think about it before. </div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">Happy holidays,</div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">Russ</div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">
<div dir="ltr">Russ Renzas</div>
<div dir="ltr">University of Nevada, Reno</div>
<div dir="ltr"><a href="https://scholar.google.com/citations?user=_4TTYQoAAAAJ&hl=en" target="_blank" rel="noreferrer">Google Scholar</a>,
<a href="https://www.linkedin.com/in/renzas" target="_blank" rel="noreferrer">LinkedIn</a></div>
<div dir="ltr"><br>
</div>
<div dir="ltr">— My position at UNR starts in mid-January 2024. —</div>
</div>
</div>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank" rel="noreferrer">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div></div>