<div dir="ltr"><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">Mario,</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">good morning.  Here at the University of Michigan/LNF we use a 5%H2/Nitrogen mix wherever we need forming gas.  We had one application that was using 2%, however that tool has gone off-line and that gas mix was removed.  Our EHS group has capped us at 5% for not needing any type of H2 detection in case there is a leak.  So far, i've heard of no complaints that we need either more, or less, H2 in the mix, or that we need to switch to another carrier gas.</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif">Thanks,</div><div class="gmail_default" style="font-family:arial,sans-serif"><br></div><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div>Dennis</div><div> </div><div>734.647.2055 Ofc</div><div> </div><div>"People can be divided into 3 groups - those that make things happen, those that watch things happen, and those that wonder what happened."  Within which group do you belong?</div></div></div><br></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Tue, Feb 27, 2024 at 3:55 PM Beaudoin, Mario <<a href="mailto:beaudoin@physics.ubc.ca">beaudoin@physics.ubc.ca</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><u></u>

  

    
  
  <div>
    <p>Dear Network,</p>
    <p>We're setting up a new RTA and will run it with Ar, N2 and
      forming gas.  We're uncertain about the % level of hydrogen we
      want in our forming gas.  Can someone recomment the best hydrogen
      % to use for MOS capacitor annealing?</p>
    <p>Regards,</p>
    <p>Mario<br>
    </p>
    <div>-- <br>
      <img src="cid:ii_18df992c0c2e557f5d81" border="0"></div>
  </div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>