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Has anyone worked with openload PECVD systems? How did that go, are there ways of running SiO2, SiN without silane-related disasters, e.g. using dilute silane?</div>

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My CVD money got allocated elsewhere in the way universities do, so I'm considering my options. </div>

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<div id="Signature">

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Russ Renzas, Ph.D.</div>

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Director, Davidson Foundation Cleanroom</div>

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College of Engineering</div>

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University of Nevada, Reno</div>

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