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<br>

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Bake it longer:</div>

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(rt to 65°C@200°C/min)+(10min@65°C)+(65°C to 95°C@200°C/min)+(30min@95°C)+(95°C to rt)</div>

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Clean the mask as you would develop; in a bath of SU-8 developer and spray rinse, followed by IPA bath and rinse.</div>

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Howard Northfield</div>

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Research Associate</div>

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Advanced Research Complex (ARC)</div>

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University of Ottawa</div>

<div id="appendonsend"></div>

<hr style="display:inline-block;width:98%" tabindex="-1">

<div id="divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" style="font-size:11pt" color="#000000"><b>From:</b> labnetwork <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu> on behalf of Chang, Long <lvchang@Central.UH.EDU><br>

<b>Sent:</b> Friday, June 7, 2024 5:50 PM<br>

<b>To:</b> Fab Network <labnetwork@mtl.mit.edu><br>

<b>Subject:</b> [labnetwork] Photomask sticks to SU8</font>

<div> </div>

</div>

<div class="" style="word-wrap:break-word; line-break:after-white-space">

<div style="font-size:9pt; font-family:'calibri'; color:#FF4233"><b>Attention : courriel externe | external email</b></div>

<div>Hello,

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">I just used Quartz Cr photomask for the first time with SU8 3050 and the SU8 stuck to the photomask after exposure, see photo. How can I prevent SU8 from sticking to my mask? How should I clean the mask?</div>

<div class=""><br class="">

</div>

<div class="">Thanks,<br class="">

<div class="">

<div dir="auto" class="" style="color:rgb(0,0,0); letter-spacing:normal; text-align:start; text-indent:0px; text-transform:none; white-space:normal; word-spacing:0px; text-decoration:none; word-wrap:break-word; line-break:after-white-space">

<div>Long Chang</div>

<div>UH Nanofabrication Facility</div>

<div>Houston, TX</div>

<div><a href="mailto:lvchang@central.uh.edu" class="">lvchang@central.uh.edu</a></div>

<div class=""><img id="x_42A4F043-A9B7-4E0A-B152-E43856A7E793" width="903" height="465" class="" data-outlook-trace="F:1|T:1" src="cid:F0FA288B-200E-402B-846E-5EA05666DAFE"></div>

</div>

<br class="x_Apple-interchange-newline">

<br class="x_Apple-interchange-newline">

</div>

<br class="">

</div>

</div>

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