<div dir="ltr"><div dir="ltr"><div>Heho Long,</div><div><br></div><div>Couple things:</div><div><br></div><div>* Optimize your baking. Get your SU-8 less sticky. SU-8 baking is very lab dependent. Depends on your local airflow - things like whether your hot plates are in air flow or not. Ramping matters too, all hot plates are not the same. Do not fare blind on the spec sheets from Microchem. Maybe lower and slower might help you. Play around a bit with your local set-up.<br></div><div>* Make sure your baking happens very horizontally. Until crosslinked, SU-8 is a very slow liquid. It will flow to the lowest side of a wafer. The thickness difference will cause one side not to be done. <br></div><div>* Reduce the force in your alinger between the mask and substrate. The harder you squeeze, the larger the chance it will stick.<br></div><div>* SU-8 is sticky nasty stuff. There will always be some sticking, especially with students who are not top experts in litho. As long as your features aren't super small, it'll be fine. For small features, they will either learn, or give up. This is where you find out who the really good students are. Be nice to the good ones. They will do amazing things.<br></div><div><br></div><div>You can clean with SU-8 developer or IPA. <br></div><div><br></div><div>One final SU-8 tip: Keep SU-8 very far away from water - including water in your solvents. SU-8 will create a milky liquid with water. Avoid that. It will mess things up. Get good clean e-grade IPA for rinsing.<br></div></div><br><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr"><div><div dir="ltr">Jasper Nijdam<br>Technical Manager GNuLab, Georgetown University<span><span><span><span><br><br></span></span></span></span></div></div></div></div></div></div></div></div></div>