<div dir="ltr">Acetone will work if it's still tacky like that and you wipe it immediately.<div>Looks like you tried edge bead removal, so yes, baking it for longer is your best bet.  </div><div>In a fit or rage, I once just put an SU-8 wafer in our oven that sits at 90C for like 8 hours and it worked beautifully.  It didn't even think about sticking to the mask.  I'm sure I could have even used hard contact.  This was after edge bead removal and the normal 40min hot plate bake.  </div><div>I think the initial soft bake is very forgiving.  All the magic is happening during the post bake.</div><div>Good luck,</div><div>Greg</div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Fri, Jun 7, 2024 at 7:51 PM Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@central.uh.edu">lvchang@central.uh.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div style="overflow-wrap: break-word;">
Hello,
<div><br>
</div>
<div>I just used Quartz Cr photomask for the first time with SU8 3050 and the SU8 stuck to the photomask after exposure, see photo. How can I prevent SU8 from sticking to my mask? How should I clean the mask?</div>
<div><br>
</div>
<div>Thanks,<br>
<div>
<div dir="auto" style="color:rgb(0,0,0);letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;text-decoration:none">
<div>Long Chang</div>
<div>UH Nanofabrication Facility</div>
<div>Houston, TX</div>
<div><a href="mailto:lvchang@central.uh.edu" target="_blank">lvchang@central.uh.edu</a></div>
<div><img id="m_406612504467621858042A4F043-A9B7-4E0A-B152-E43856A7E793" width="903" height="465" src="cid:ii_1900262681c2bff22291"></div>
</div>
<br>
<br>
</div>
<br>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div>Greg Allion</div><div>NC State University Nanofabrication Facility (NNF)</div><div dir="ltr"><div>Process Integration Engineering Manager</div><div><br></div><div>Monteith Research Center</div><div>2410 Campus Shore Drive rm.243C</div><div>Raleigh, NC 27606</div></div></div></div>