<div dir="ltr"><div>UCSB has a page of Manual Edge-Bead Removal Techniques</div><div><br></div><div><a href="https://wiki.nanofab.ucsb.edu/wiki/Photolithography_-_Manual_Edge-Bead_Removal_Techniques">https://wiki.nanofab.ucsb.edu/wiki/Photolithography_-_Manual_Edge-Bead_Removal_Techniques</a></div></div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Jun 10, 2024 at 9:52 AM Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@central.uh.edu">lvchang@central.uh.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div style="overflow-wrap: break-word;">
Thanks everyone. I got the mask mostly clean with SU8 developer. Can’t wait to try again with more baking. Anyone has tips for easy and repeatable edge bead removal? I’m thinking about using a Q-tip dipped in acetone while the wafer is spinning at 500 rpm.
<div><br>
<div>
<div dir="auto" style="color:rgb(0,0,0);letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;text-decoration:none">
<div>Long Chang</div>
<div>UH Nanofabrication Facility</div>
<div>Houston, TX</div>
<div><a href="mailto:lvchang@central.uh.edu" target="_blank">lvchang@central.uh.edu</a></div>
<div><br>
</div>
</div>
<br>
<br>
</div>
<div><br>
<blockquote type="cite">
<div>On Jun 10, 2024, at 8:25 AM, Zhichao Wang <<a href="mailto:zhichaow@udel.edu" target="_blank">zhichaow@udel.edu</a>> wrote:</div>
<br>
<div>
<div dir="ltr">Hi Long, 
<div><br>
</div>
<div>We use 10min@65C and 30min@95C for thick SU-8 pre-bake. One of our users leaves the pre-baked wafer on a flat surface overnight and runs the exposure the next day, it seems like the film height uniformity can be slightly improved.</div>
<div><br>
</div>
<div>Best, </div>
</div>
<br>
<div class="gmail_quote">
<div dir="ltr" class="gmail_attr">On Sat, Jun 8, 2024 at 10:46 AM Howard Northfield <<a href="mailto:Howard.Northfield@uottawa.ca" target="_blank">Howard.Northfield@uottawa.ca</a>> wrote:<br>
</div>
<blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">
<div>
<div dir="ltr">
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
Bake it longer:</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
(rt to 65°C@200°C/min)+(10min@65°C)+(65°C to 95°C@200°C/min)+(30min@95°C)+(95°C to rt)</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
Clean the mask as you would develop; in a bath of SU-8 developer and spray rinse, followed by IPA bath and rinse.</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
Howard Northfield</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
Research Associate</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
Advanced Research Complex (ARC)</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt">
University of Ottawa</div>
<div id="m_243554275442367129m_-8656343098025639131appendonsend"></div>
<hr style="display:inline-block;width:98%">
<div id="m_243554275442367129m_-8656343098025639131divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" style="font-size:11pt"><b>From:</b> labnetwork <<a href="mailto:labnetwork-bounces@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork-bounces@mtl.mit.edu</a>>
 on behalf of Chang, Long <<a href="mailto:lvchang@Central.UH.EDU" target="_blank">lvchang@Central.UH.EDU</a>><br>
<b>Sent:</b> Friday, June 7, 2024 5:50 PM<br>
<b>To:</b> Fab Network <<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a>><br>
<b>Subject:</b> [labnetwork] Photomask sticks to SU8</font>
<div> </div>
</div>
<div>
<div style="font-size:9pt;font-family:calibri;color:rgb(255,66,51)"><b>Attention : courriel externe | external email</b></div>
<div>Hello,
<div><br>
</div>
<div>I just used Quartz Cr photomask for the first time with SU8 3050 and the SU8 stuck to the photomask after exposure, see photo. How can I prevent SU8 from sticking to my mask? How should I clean the mask?</div>
<div><br>
</div>
<div>Thanks,<br>
<div>
<div dir="auto" style="letter-spacing:normal;text-align:start;text-indent:0px;text-transform:none;white-space:normal;word-spacing:0px;text-decoration:none">
<div>Long Chang</div>
<div>UH Nanofabrication Facility</div>
<div>Houston, TX</div>
<div><a href="mailto:lvchang@central.uh.edu" target="_blank">lvchang@central.uh.edu</a></div>
<div><span id="m_243554275442367129cid:ii_190025299742bff22291"><Screen Shot 2024-06-07 at 4.48.32 PM.png></span></div>
</div>
<br>
<br>
</div>
<br>
</div>
</div>
</div>
</div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://urldefense.com/v3/__https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork__;!!LkSTlj0I!D0ZXGmsjLdP-1BtJkBRxOiAL0scuehEXAXXLqNzgnKtfepa3Q3fhKti1rRKbyOp4h3n2pWhZEN4qA2BiLKnALPA$" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</div>
</blockquote>
</div>
<br clear="all">
<div><br>
</div>
<span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br>
<div dir="ltr" class="gmail_signature">
<div dir="ltr">
<div dir="ltr">
<div dir="ltr">
<div dir="ltr"><font color="#0b5394"><img width="96" height="95" src="https://ci3.googleusercontent.com/mail-sig/AIorK4x_Y6s1D-QRl-0PHmw-IKysmBp1Gr83JeY3kMWLc6K2VhCqyd-PX_9Jh3QjaDEpSxLygmnUyHk"><br>
</font></div>
<div dir="ltr"><font face="monospace" color="#0b5394" size="4"><b>Zhichao "Chao" Wang, Ph.D.</b></font></div>
<div dir="ltr"><i><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif">Lithography Engineer</font></i></div>
<div dir="ltr"><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>UDNF</i></font></div>
<div><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>University of Delaware</i></font></div>
<div><font face="trebuchet ms, sans-serif"><i><font color="#0b5394">Pronouns: He/Him/His</font></i><font color="#0b5394"><i><br>
</i></font></font></div>
<div><i><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><span style="font-size:12px">------------------------</span></font></i></div>
<div dir="ltr"><i><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif">Office Number：(302) 831-4839</font></i></div>
<div dir="ltr"><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>221 Academy St.，RM170</i></font></div>
<div dir="ltr"><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>Newark, DE 19711</i></font></div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</blockquote>
</div>
<br>
</div>
</div>

</blockquote></div><br clear="all"><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><div dir="ltr"><font color="#0b5394"><img width="96" height="95" src="https://ci3.googleusercontent.com/mail-sig/AIorK4x_Y6s1D-QRl-0PHmw-IKysmBp1Gr83JeY3kMWLc6K2VhCqyd-PX_9Jh3QjaDEpSxLygmnUyHk"><br></font></div><div dir="ltr"><font face="monospace" color="#0b5394" size="4"><b>Zhichao "Chao" Wang, Ph.D.</b></font></div><div dir="ltr"><i><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif">Lithography Engineer</font></i></div><div dir="ltr"><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>UDNF</i></font></div><div><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>University of Delaware</i></font></div><div><font face="trebuchet ms, sans-serif"><i><font color="#0b5394">Pronouns: He/Him/His</font></i><font color="#0b5394"><i><br></i></font></font></div><div><i><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><span style="font-size:12px">------------------------</span></font></i></div><div dir="ltr"><i><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif">Office Number：(302) 831-4839</font></i></div><div dir="ltr"><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>221 Academy St.，RM170</i></font></div><div dir="ltr"><font color="#0b5394" face="trebuchet ms, sans-serif"><i>Newark, DE 19711</i></font></div></div></div></div></div>