
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=big5">

<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

</head>

<body dir="ltr">

Hi Emma,<br>

<br>

We did not etch diamond but rather diamond-like carbon films. As Joseph mentioned, we also used O2 plasma in an ICP RIE system. We had HSQ as a mask material.<br>

<br>

Best,<br>

<br>

Bernhard

<hr style="display:inline-block;width:98%" tabindex="-1">

<div id="divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" style="font-size:11pt" color="#000000"><b>Von:</b> labnetwork <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu> im Auftrag von Joseph Losby <joseph.losby@ucalgary.ca><br>

<b>Gesendet:</b> Mittwoch, 31. Juli 2024 22:32:09<br>

<b>An:</b> Emma Anquillare; Labnetwork (labnetwork@mtl.mit.edu)<br>

<b>Betreff:</b> Re: [labnetwork] Diamond Etching</font>

<div> </div>

</div>

<div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Hi Emma, </div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Our diamond etches are generally done using O2 plasma in an ICP-RIE system at ~250C.  O2/SF6 is used for chamber cleaning, and we usually do it for a longer period of time (30-60 mins).  More information can be found in the following articles:</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<a href="https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.5b01346" id="LPlnk173740">https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.5b01346</a></div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<a href="https://pubs.aip.org/aip/app/article/4/1/016101/123128/Realizing-Q-gt-300-000-in-diamond-microdisks-for" id="LPlnk">https://pubs.aip.org/aip/app/article/4/1/016101/123128/Realizing-Q-gt-300-000-in-diamond-microdisks-for</a></div>

<div class="_Entity _EType_OWALinkPreview _EId_OWALinkPreview _EReadonly_1" style="color: inherit; background-color: inherit;">

<div id="LPBorder_GTaHR0cHM6Ly9wdWJzLmFpcC5vcmcvYWlwL2FwcC9hcnRpY2xlLzQvMS8wMTYxMDEvMTIzMTI4L1JlYWxpemluZy1RLWd0LTMwMC0wMDAtaW4tZGlhbW9uZC1taWNyb2Rpc2tzLWZvcg.." class="LPBorder794770" style="width: 100%; margin-top: 16px; margin-bottom: 16px; position: relative; max-width: 800px; min-width: 424px;">

<table id="LPContainer794770" role="presentation" style="padding: 12px 36px 12px 12px; width: 100%; border-width: 1px; border-style: solid; border-color: rgb(200, 200, 200); border-radius: 2px;">

<tbody>

<tr valign="top" style="border-spacing: 0px;">

<td>

<div id="LPImageContainer794770" style="position: relative; margin-right: 12px; height: 135px; overflow: hidden; width: 240px;">

<a target="_blank" id="LPImageAnchor794770" href="https://pubs.aip.org/aip/app/article/4/1/016101/123128/Realizing-Q-gt-300-000-in-diamond-microdisks-for"><img id="LPThumbnailImageId794770" alt="" height="135" style="display: block;" width="240" src="https://aipp.silverchair-cdn.com/aipp/content_public/journal/app/4/1/10.1063_1.5053122/5/016101_1_highlight_f1.jpeg?Expires=1725481620&Signature=fYLoQDRACgZacQYZjhIm1pyDNhUdPbIwLqJCebKspkHxtJRD1efFxDkbxiziNQv6pCJVGtc3yK1pwVtAsmo7OxMOLxxX1iE8Tn6h2a1CVhjv5Q~A~~bAJPazLAmeBaG13FLTYlZ1ruv7MmIG4Nfx2IcLNyfwRTrkta~n1gVuJX555ktkkgmiDGK5svhCrbHpiyt01gDnW0~KpsLnfRwttIeCM5oR-SkxPU-OLF28efuphAkVOkxOxUu2egJ83UskCLIQX~h0kjFTQ57Q8k59dnQiFMBT2UIDqbebkUx4tLTGoZCYQPSH0LSfJFS9uDJeVdpy7MDy7~~a~0hk7KyT~Q__&Key-Pair-Id=APKAIE5G5CRDK6RD3PGA"></a></div>

</td>

<td style="width: 100%;">

<div id="LPTitle794770" style="font-size: 21px; font-weight: 300; margin-right: 8px; font-family: wf_segoe-ui_light, "Segoe UI Light", "Segoe WP Light", "Segoe UI", "Segoe WP", Tahoma, Arial, sans-serif; margin-bottom: 12px;">

<a target="_blank" id="LPUrlAnchor794770" href="https://pubs.aip.org/aip/app/article/4/1/016101/123128/Realizing-Q-gt-300-000-in-diamond-microdisks-for" style="text-decoration: none;">Realizing Q > 300 000 in diamond microdisks for optomechanics via etch optimization</a></div>

<div id="LPDescription794770" style="font-size: 14px; max-height: 100px; color: rgb(102, 102, 102); font-family: wf_segoe-ui_normal, "Segoe UI", "Segoe WP", Tahoma, Arial, sans-serif; margin-bottom: 12px; margin-right: 8px; overflow: hidden;">

Nanophotonic structures in single–crystal diamond (SCD) that simultaneously confine and co-localize photons and phonons are highly desirable for applications in</div>

<div id="LPMetadata794770" style="font-size: 14px; font-weight: 400; color: rgb(166, 166, 166); font-family: wf_segoe-ui_normal, "Segoe UI", "Segoe WP", Tahoma, Arial, sans-serif;">

pubs.aip.org</div>

</td>

</tr>

</tbody>

</table>

</div>

</div>

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Cheers,</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Joe</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div id="Signature" style="color: inherit;">

<div style="background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;">

<p style="text-align: left; margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, Calibri_EmbeddedFont, Calibri_MSFontService, sans-serif; font-size: 10pt; color: rgb(214, 0, 28); line-height: 17px;"><b>Joseph Losby, PhD</b></span></p>

<p style="text-align: left; margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, Calibri_EmbeddedFont, Calibri_MSFontService, sans-serif; font-size: 13.3333px; color: rgb(0, 0, 0); background-color: rgb(255, 255, 255); line-height: 17px;"><b>Manager, qLab Operations</b></span></p>

<p style="text-align: left; margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, Calibri_EmbeddedFont, Calibri_MSFontService, sans-serif; font-size: 10pt; color: rgb(0, 0, 0); line-height: 17px;"><b>joseph.losby@ucalgary.ca</b></span></p>

<p style="text-align: left; margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, Calibri_EmbeddedFont, Calibri_MSFontService, sans-serif; font-size: 10pt; color: rgb(0, 0, 0); line-height: 17px;"><br>

</span></p>

</div>

<div style="background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"></div>

<div style="background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"></div>

</div>

<div id="appendonsend" style="color: inherit;"></div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<hr style="display: inline-block; width: 98%;">

<div id="divRplyFwdMsg" dir="ltr" style="color: inherit;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(0, 0, 0);"><b>From:</b> labnetwork <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu> on behalf of Emma Anquillare <eanquillare@gc.cuny.edu><br>

<b>Sent:</b> July 31, 2024 10:26 AM<br>

<b>To:</b> Labnetwork (labnetwork@mtl.mit.edu) <labnetwork@mtl.mit.edu><br>

<b>Subject:</b> [labnetwork] Diamond Etching</span>

<div> </div>

</div>

<table style="direction: ltr; margin-bottom: 10px; border-collapse: collapse; border-spacing: 0px; box-sizing: border-box; color: inherit; background-color: inherit;">

<tbody>

<tr>

<td style="direction: ltr; color: rgb(255, 0, 0);">

<div style="direction: ltr;">[△EXTERNAL]</div>

</td>

</tr>

</tbody>

</table>

<div style="direction: ltr;"><br>

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Hello Lab network!</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

We have a user that is interested in etching a CVD grown slab of Diamond (Area: 3mmx3mm) about ~300 um thick via CF4/O2 or SF6 plasma (CF4 process described here-</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

 <a href="https://urldefense.com/v3/__https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0925963501006173__;!!GekbXoL5ynDpFgM!WxaE7hfA6-iCIfo3iRBj8F1Agt1XD-R1rG2Erff2xgbqNr8azLuLPVme0Bu1-MPWWvbxOATSjMfwV6cW23nVbunPXr7k$" id="OWA07a19cc7-b294-55f8-9e0f-b6ccf753ab26" class="x_OWAAutoLink" title="Original URL: https://urldefense.com/v3/__https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0925963501006173__;!!GekbXoL5ynDpFgM!WxaE7hfA6-iCIfo3iRBj8F1Agt1XD-R1rG2Erff2xgbqNr8azLuLPVme0Bu1-MPWWvbxOATSjMfwV6cW23nVbunPXr7k$. Click or tap if you trust this link." shash="CFDZizbY6VmY/newDDNmDBfx4pHpYV2DbF22p2BlPoXwjQD6mICt7QZYuIl/IvGqrAGiLmbROQMA3rT6EqnVA3/cQQ6GCkFwD7K24c8DE5Y2nhGhT/asQqqsjw5bLO3kzMDs0cT4SXCzNb0HLvBzeOcUGa3QkpEiYRiafkjJ2u4=" originalsrc="https://urldefense.com/v3/__https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0925963501006173__;!!GekbXoL5ynDpFgM!WxaE7hfA6-iCIfo3iRBj8F1Agt1XD-R1rG2Erff2xgbqNr8azLuLPVme0Bu1-MPWWvbxOATSjMfwV6cW23nVbunPXr7k$" data-auth="VerificationFailed" data-linkindex="0" style="margin: 0px;">https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0925963501006173</a> ,

 though they would use a SiO2/ PMMA instead of Al mask and an ICP instead of an RIE).</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Here is what I have read on diamond so far:</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

There is no precedent category for Carbon or diamond in the Cornell CNF materials categories (though SiC was allowed in even the most restricted tools) or in labnetwork. The sputter yield should be very low (~0.2 with Xe at 750ev- though most of the other values

 we have for comparison were with Ar at 600eV) and I could not find a vapor pressure curve for it. MP/BP at atmosphere is absurdly high (in the thousands) and I don't think the etch temperature would be hot enough for it to degrade to graphite. (Actually- I

 don't even know if our etcher will get hot enough to prompt the fluorine reaction based on literature, but apparently it has been etched before.) Not a toxic material. We might get HF vapor as a side product but usually figure scrubbers can handle that without

 further risk or precautions.<br>

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Do any facilities out there have experience plasma etching CVD diamond? What level-of-cleanliness tool did you allow it in? Were there any contamination problems (especially relevant to waveguides) or other safety aspects I should be aware of? What cleaning

 recipe did you use?</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Thanks,</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Emma</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; text-align: left; text-indent: 0px; margin: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div style="direction: ltr; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div id="x_Signature" style="color: inherit;">

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<b>_____________________________________________</b></div>

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<b>Emma Anquillare, PhD</b></div>

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Research Scientist</div>

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; color: rgb(0, 0, 0);">

<span style="font-size: 12pt;">ASRC </span><span style="font-size: 16px; background-color: rgb(255, 255, 255);">Nanofabrication Facility</span></div>

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">

<span style="background-color: rgb(255, 255, 255);">City University of New York</span></div>

<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">

<span style="background-color: rgb(255, 255, 255);"><br>

</span></div>

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<i>Catalyzing Change, Celebrating Gains: </i></div>

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<i>A decade of visionary science for the public good.</i></div>

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