
<html><head><meta http-equiv="content-type" content="text/html; charset=utf-8"></head><body dir="auto"><div>Dear Lab Network,</div><div><br></div><div>Can you please share best practices, or better yet, SOPs for chamber cleans and related PPE (if any). Mostly interested in standard RIE/ICP chemistries (eg fluorine, fluorocarbons, etc), but also if you can differentiate if there are any protocol changes for toxics (Cl2, BCl3, HBr, VHF) I’d greatly appreciate it. </div><div><br></div><div>Regards,</div><br id="lineBreakAtBeginningOfSignature"><div dir="ltr"><span style="background-color: rgba(255, 255, 255, 0);">Dr. Michael Khbeis</span><div><span style="background-color: rgba(255, 255, 255, 0);">(C) <a href="tel:443.254.5192" dir="ltr" x-apple-data-detectors="true" x-apple-data-detectors-type="telephone" x-apple-data-detectors-result="1/1" style="-webkit-text-decoration-color: rgba(0, 0, 0, 0.258824);">443.254.5192</a><br></span></div></div></body></html>