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<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
Hi, All:</div>
<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
Thank you for sharing the experience with us.</div>
<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
We still don't mix F-based and Cl-based gases here, and the tool is dedicated to the F-based or Cl-based chemistries only.</div>
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However, it is good to know other experience about how to handle the chemistries and the tool management. I do appreciate that.</div>
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Thanks/regards,</div>
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  </div>
<div id="Signature">
<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
MINGWEI LIN, PhD</div>
<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
Process Engineer</div>
<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
Nanoscale Fabrication Center</div>
<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
University of Wisconsin-Madison</div>
<div style="font-family: Calibri, Arial, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">
<br>
</div>
</div>
<div id="appendonsend"></div>
<hr style="display:inline-block;width:98%" tabindex="-1">
<div id="divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" style="font-size:11pt" color="#000000"><b>From:</b> Emma Anquillare <eanquillare@gc.cuny.edu><br>
<b>Sent:</b> Tuesday, August 27, 2024 4:07 PM<br>
<b>To:</b> MINGWEI LIN <mlin227@wisc.edu><br>
<b>Subject:</b> Re: HBr and Cl2 mixing gases</font>
<div> </div>
</div>
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<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Hi Mingwei,</div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
I would also be very curious to hear about this too!  Our chlorine tool also has both gasses. This is what I do know:</div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
-BCl3 and Oxygen should not mix in the chamber (will form Boric oxide which is a very-hard-to-remove solid ). Usually there is a purge between any steps containing O2 or BCl3</div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
-Flammable gasses and oxygen should never mix in the chamber. The tool software we have prevents against flowing in oxygen with a flammable gas and I instruct people to never mix flammable gasses with any oxidizing gas in the chamber as an additional precaution.
 So there would also have to be purges between those steps as well, though HBr (though corrosive and toxic)  is not oxidizing or flammable as far as I see. </div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
-Looking at the recipes we have on our tool, we do have some recipes with simultaneous Cl2 and HBr flow.
<i>HOWEVER</i>- these recipes were developed by users with no formal oversight or assessment until now, so just because they exist and we've not yet had a problem that I am aware of does not mean this is best practice. </div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Again, I would also be very curious to learn other peoples' experiences with these gasses and if there is something we should be doing better here as well. </div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div class="x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Emma</div>
<div id="x_Signature">
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<b>_____________________________________________</b></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<b>Emma Anquillare, PhD</b></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Research Scientist</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; color:rgb(0,0,0)">
<span style="font-size:12pt">ASRC </span><span style="font-size:16px; background-color:rgb(255,255,255)">Nanofabrication Facility</span></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:16px; color:rgb(0,0,0)">
<span style="background-color:rgb(255,255,255)">City University of New York</span></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:16px; color:rgb(0,0,0)">
<span style="background-color:rgb(255,255,255)"><br>
</span></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:16px; color:rgb(0,0,0)">
<img id="x_image_0" width="337" height="77" style="width:337px; height:77px" data-outlook-trace="F:2|T:2" src="cid:e2a57493-c332-4d76-a119-465e567b30a8"></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:16px; color:rgb(0,0,0)">
<i>Catalyzing Change, Celebrating Gains: </i></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:16px; color:rgb(0,0,0)">
<i>A decade of visionary science for the public good.</i></div>
</div>
<div id="x_appendonsend"></div>
<hr tabindex="-1" style="display:inline-block; width:98%">
<div id="x_divRplyFwdMsg" dir="ltr"><font face="Calibri, sans-serif" color="#000000" style="font-size:11pt"><b>From:</b> labnetwork <labnetwork-bounces@mtl.mit.edu> on behalf of MINGWEI LIN <mlin227@wisc.edu><br>
<b>Sent:</b> Tuesday, August 27, 2024 12:30 PM<br>
<b>To:</b> labnetwork@mtl.mit.edu <labnetwork@mtl.mit.edu><br>
<b>Subject:</b> [labnetwork] HBr and Cl2 mixing gases</font>
<div> </div>
</div>
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p
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<div dir="ltr">
<div style="margin:2em; border:1px solid; background-color:#FFFCD5">
<p style="padding:1em; text-align:center"><b>* This email originates from a sender outside of CUNY. Verify the sender before replying or clicking on links and attachments. *</b></p>
</div>
<div>
<div class="x_x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Hi, Everyone:</div>
<div class="x_x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
We are going to purchase a new metal etcher with Cl-based and HBr gases. Can anyone share the experience of HBr and Cl-based mixing gases for the etcher?</div>
<div class="x_x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
1. Can the HBr and Cl2 mixing gases be used together for the Si/Poly Si etch? If Cl2 was used first followed by HBr, would any cleaning be necessary in between?</div>
<div class="x_x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
2. Does anyone know about any impact on III-V materials (GaN for example) etch or device performance if HBr and Cl2/BCl3 are used in the chamber?</div>
<div class="x_x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
3. If there is cross contamination issue about the mixing gases, what about the cleaning criteria if we switch HBr and Cl-based gases back and forth? Any better way for the tool management?</div>
<div class="x_x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Thanks/regards,     </div>
<div class="x_x_elementToProof" style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div id="x_x_Signature">
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
MINGWEI LIN, PhD</div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Process Engineer</div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
Nanoscale Fabrication Center</div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
University of Wisconsin-Madison</div>
<div style="font-family:Calibri,Arial,Helvetica,sans-serif; font-size:12pt; color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
</div>
</div>
</div>
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