<div dir="ltr"><div><p style="color:rgb(0,0,0)">Dear labnetwork,</p><p style="color:rgb(0,0,0)">I'm Chiara Gionco, and I am a researcher at INRiM, the Italian Institute of Metrology and I'm part of the Managing Committee of our new Cleanroom facility, shared with Politecnico di Torino and Università degli Studi di Torino.</p><p style="color:rgb(0,0,0)">We are in the process of acquiring gas facilities to support an LPCVD system (Tystar MiniTytan 1600) in our cleanroom, and I would greatly appreciate any feedback regarding the management and handling of Dichloro Silane.</p><p style="color:rgb(0,0,0)">To ensure the best practices for our installation, I would like to inquire about how DCS is handled at your institute. Specifically, I am interested in the following:</p><ol style="color:rgb(0,0,0)"><li style="margin-left:15px"><strong>Distance Between Gas Cabinet and Instrument:</strong> How far is the gas cabinet located from the LPCVD system?</li><li style="margin-left:15px"><strong>Gas Line Configuration:</strong> Is the gas line and the bottle heated, and if so, what specifications are followed for heating it?</li><li style="margin-left:15px"><b>Issues related to the DCS gas line</b>: Are there any common issues related to the DCS gas line after installation? What are your solutions?</li><li style="margin-left:15px"><strong>Safety Measures:</strong> Are there any additional precautions or setups you would recommend to ensure safe and efficient operation?</li></ol><p style="color:rgb(0,0,0)">Thank you very much for your time and assistance. </p><p style="color:rgb(0,0,0)">Best regards,</p></div><div><span style="color:rgb(136,136,136)">Chiara Gionco, Ph.D.</span></div><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div style="color:rgb(136,136,136)">Researcher</div><div style="color:rgb(136,136,136)">011-3919 214</div><div style="color:rgb(136,136,136)">Italian National Metrology Institute (INRiM)</div><div style="color:rgb(136,136,136)">Strada delle Cacce 91, 10135, Torino (Italy)</div></div></div></div></div>