
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=ks_c_5601-1987">

<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

</head>

<body dir="ltr">

<div class="elementToProof" style="margin-top: 1em; margin-bottom: 1em; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Hi Esta,</div>

<div class="elementToProof" style="margin-top: 1em; margin-bottom: 1em; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

I’m not sure what chemistry you use on the Fiji200. Typically, a thermal HfO₂ process with TDMAH and H₂O requires temperatures above 100°C. I’m guessing you’re running PEALD at 80°C instead.</div>

<div class="elementToProof" style="margin-top: 1em; margin-bottom: 1em; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

In our experience, we haven’t encountered this issue in either our thermal or PEALD chambers. Problems usually arise when the tool becomes heavily coated, and the coatings begin to peel off. In such cases, a thorough tool cleaning generally resolves the issue.</div>

<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Best,</div>

<div style="text-align: left; text-indent: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Bangzhi Liu</div>

<div style="text-align: left; text-indent: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Associate Research Professor</div>

<div style="text-align: left; text-indent: 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Penn State</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div id="Signature" class="elementToProof"></div>

</body>

</html>