
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=us-ascii">

</head>

<body>

<div dir="auto">Dear Lab network,</div>

<div dir="auto"><br>

</div>

<div dir="auto">I am afraid of using TiCl4 precursor in our fab, we had old Savanah 100 system with foreline trap and vacuum pump.</div>

<div dir="auto"><br>

</div>

<div dir="auto">Main canister box is exhausted and pump outlet also in the exhaust line.</div>

<div dir="auto"><br>

</div>

<div dir="auto">On this circumstances, is it safe to use TiCl4 canister for this system?</div>

<div dir="auto"><br>

</div>

<div dir="auto">Thank you.</div>

<div id="ms-outlook-mobile-signature" dir="auto">

<div><br>

</div>

Get <a href="https://aka.ms/AAb9ysg">Outlook for Android</a></div>

</body>

</html>