
<html>

<head>

<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=Windows-1252">

<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>

</head>

<body dir="ltr">

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Can you share your experience if you are depositing silicon nitride and / or silicon oxide thin films at low substrate temperature (below 100C) by PECVD or ICP-CVD that have good optical qualities (for waveguide applications).</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<ol start="1" data-editing-info="{"applyListStyleFromLevel":false,"orderedStyleType":3}">

<li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0); list-style-type: "1) ";">

<div class="elementToProof">Which deposition system are you using?</div>

</li><li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0); list-style-type: "2) ";">

<div class="elementToProof">What was the substrate temperature?</div>

</li></ol>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

Thank you.</div>

<div class="elementToProof" style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(0, 0, 0);">

<br>

</div>

<div id="Signature" class="elementToProof">

<p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 14pt; color: rgb(36, 36, 36);"><b>Philippe Mérel

<i>PhD</i></b></span></p>

<p style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(36, 36, 36);">Coordonnateur Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes (LNN)</span></p>

<p style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(36, 36, 36);">Institut Interdisciplinaire d’Innovation Technologique – 3iT</span></p>

<p style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(36, 36, 36);"><b>Université de Sherbrooke</b></span></p>

<p style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(36, 36, 36);">(819) 821-8000 x63706</span></p>

<p style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(36, 36, 36);"><br>

<a href="https://www.usherbrooke.ca/3it/" target="_blank" id="OWAd7407adc-c7e3-2387-d3bf-5bf3e1f1e147" class="OWAAutoLink" title="URL d'origine : https://www.usherbrooke.ca/3it/. Cliquez ou appuyez si vous faites confiance à ce lien." rel="noopener noreferrer" data-linkindex="0" data-auth="Verified" style="margin: 0px;">https://www.usherbrooke.ca/3it/</a></span></p>

<p style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 0px;"><span style="font-family: Calibri, sans-serif; font-size: 11pt; color: rgb(36, 36, 36);"><img width="198" height="68" style="width: 149.24pt; height: 51.74pt; max-width: 800px; min-width: auto; min-height: auto; margin: 0px;" data-outlook-trace="F:2|T:2" src="cid:d97f9d9a-25a7-401e-b1f1-b146eec5f865"></span></p>

</div>

</body>

</html>