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Dear Labnetwork</div>

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Currently doing PVD deposition of undoped Silicon. Would like to improve the surface roughness and crystal quality of the PVD Silicon using rapid thermal annealing (RTA). Does anyone have experience in this and what RTA recipe you use.</div>

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Thank you</div>

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Howard Northfield</div>

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Research Engineer</div>

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Advanced Research Complex (ARC)</div>

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University of Ottawa</div>

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