<div dir="auto"><div>Hi Youry,<div dir="auto"><br></div><div dir="auto">We also have this problem in our load locked system, also using fabmate with a spacer. We've been wiping down the liner, gold slug from the crucible, and tweezers used to handle the pellets with IPA at each crystal change and refill. We also changed all the shields and shutters (etc). While the situation has improved I still see evidence of spitting. Deposition rates are set at 1 and 2 A/s, I'm not sure if it is happening with both, as you can imagine the powers are pretty close. I have not tried rinsing the pellets with IPA, or not using the slug we already have.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Meanwhile, our user who was most adversely affected by this is able to get Au depositions without spitting in a filthy open chamber tool by evaporating at 0.1A/s.</div><div dir="auto"><br></div><div dir="auto">Nadia</div><br><br><div class="gmail_quote gmail_quote_container"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Fri, Jan 31, 2025, 2:45 PM Youry Borisenkov <<a href="mailto:yb2471@columbia.edu">yb2471@columbia.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0 0 0 .8ex;border-left:1px #ccc solid;padding-left:1ex"><div dir="ltr"><div>Hi All and happy Friday,</div><div>I know it is a topic that has been discussed multiple times, however, I'm still lacking a solution that works and will appreciate you sharing your experience.</div><div><br></div><div>Currently we are using a Fabmate crucible, and getting some carbon contamination . </div><div>For clean Gold layers we use thermal evaporation. The films are good but it requires a lot of gold.</div><div><br></div><div>So far we tried using a Molybdenum crucible with and without a spacer. The issue with this approach was that eventually after some time, we get carbon contamination back. I believe it's present in the chamber and eventually a critical mass is built on top of the gold in the crucible, coming from the chamber.</div><div><br></div><div>Were anyone successful in overcoming carbon contamination in their e-beam deposition overtime? </div><div>What are the procedures you are following? Maybe cleaning more frequently?</div><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div style="color:rgb(136,136,136)">Thank you,</div><div style="color:rgb(136,136,136)">Youry Borisenkov</div><div style="color:rgb(136,136,136)"><a href="https://cni.columbia.edu/columbia-university-clean-room" target="_blank" rel="noreferrer">CNI</a></div><div style="color:rgb(136,136,136)">Columbia University</div><div style="color:rgb(136,136,136)">CEPSR 1017, New York, NY, 10027, United States.</div><div style="color:rgb(136,136,136)"><a href="https://sustainable.columbia.edu/crown-commuter" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank" rel="noreferrer"><img src="https://sustainable.columbia.edu/sites/default/files/content/crown%20commuter%20badge_0.png" width="96" height="40"></a></div></div></div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank" rel="noreferrer">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div></div></div>