<html>
<head>
<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=Windows-1252">
<style type="text/css" style="display:none;"> P {margin-top:0;margin-bottom:0;} </style>
</head>
<body dir="ltr">
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
Hello,</div>
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
We are troubleshooting a SEM column issue on our FIB-SEM following a planned power interruption. In short, any advice regarding the disassembly of a
<b>Gemini SEM column </b>or liner tube troubleshooting/maintenance would be greatly appreciated.</div>
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
The tool in question is a ZEISS Auriga 40, and we have observed the following:</div>
<ul style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255);">
<li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
<div style="margin: 0px;">The SEM image is significantly rotated relative to the expected alignment, despite the scan rotation being off.</div>
</li><li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
<div style="margin: 0px;">The Inlens detector does not get a signal, but the SESI detector gets a signal with some apertures. The emission view shows that the apertures are significantly misaligned, despite no manual changes being performed.</div>
</li><li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
<div style="margin: 0px;">The image rotation improves as SEM voltage is increased, becoming nearly correct at 21 kV—at which point the liner tube shuts off.</div>
</li></ul>
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
During troubleshooting, we measured the liner tube voltage:</div>
<ul style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255);">
<li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
When running the liner without connecting it to the column (with a resistor in place to draw current), the voltage ramps normally.</li><li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
When the liner is connected to the column, the voltage plateaus at 600–700 V instead of reaching the expected 8000 V.</li></ul>
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
We have checked:</div>
<ul style="text-align: left; background-color: rgb(255, 255, 255);">
<li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
The liner tube cable and relay box connections.</li><li style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
The power module and associated lens control boards.</li></ul>
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
Given these observations, it seems likely that there is a voltage leak inside the column affecting the liner tube voltage. Has anyone encountered a similar issue, or can provide insight into further troubleshooting steps? We are considering opening the column
 to check for a short but have not attempted any disassembly other than replacing the filament.</div>
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
Any advice would be greatly appreciated!</div>
<div class="elementToProof" style="text-align: left; text-indent: 0px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin: 1em 0px; font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: black;">
All the best,<br>
Nicki</div>
<div id="Signature" class="elementToProof">
<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(33, 33, 33);">
<span style="background-color: rgb(255, 255, 255);">Senior Facility Microscopist</span></div>
<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(33, 33, 33);">
Quantum-Nano Fabrication and Characterization Facility (QNFCF)</div>
<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(33, 33, 33);">
200 University Ave W | Waterloo, Ontario | N2L 3G1 </div>
<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(33, 33, 33);">
Office: QNC 1611</div>
<div style="font-family: Aptos, Aptos_EmbeddedFont, Aptos_MSFontService, Calibri, Helvetica, sans-serif; font-size: 12pt; color: rgb(33, 33, 33);">
P: +1 519-888-4567 ext. 42022</div>
<div style="font-family: "Segoe UI", "Segoe UI Web (West European)", "Segoe UI", -apple-system, BlinkMacSystemFont, Roboto, "Helvetica Neue", sans-serif; font-size: 15px; color: rgb(33, 33, 33);">
<span style="background-color: white;"><img id="imageSelected0" width="180" height="67" style="width: 180px; height: 67px;" data-outlook-trace="F:1|T:1" src="cid:cb186fce-e5ea-43b2-a514-a35479f49e98"></span></div>
</div>
</body>
</html>