<div dir="ltr">Hi Emma,<div><br></div><div>Most of our users run very short processes and Ar/O2 clean before conditioning. We're in the unfortunate situation of having both F and Cl in the same tool.</div><div><br></div><div>This our mandatory clean after BCl3 processes (after discussion with Craig Ward at Oxford):</div><div><ul><li style="margin-left:15px">step 1: Cl2 <span class="gmail-il">clean</span></li><ul><li style="margin-left:15px">Cl2: 50 sccm</li><li style="margin-left:15px">Pressure: 20 mTorr</li><li style="margin-left:15px">ICP: 1500 W</li><li style="margin-left:15px">RF: 150 W</li><li style="margin-left:15px">Temperature: 20C</li><li style="margin-left:15px">Backside He pressure: 5 Torr</li><li style="margin-left:15px">Time: 20 min (or the length of the <span class="gmail-il">BCl3</span> process, whichever is longer)</li></ul><li style="margin-left:15px">step 2: O2/SF6 <span class="gmail-il">clean</span><ul><li style="margin-left:15px">O2: 40 sccm</li><li style="margin-left:15px">SF6: 10 sccm</li><li style="margin-left:15px">Pressure: 20 mTorr</li><li style="margin-left:15px">ICP: 1500 W</li><li style="margin-left:15px">RF: 150 W</li><li style="margin-left:15px">Temperature: 20C</li><li style="margin-left:15px">Backside He pressure: 5 Torr</li><li style="margin-left:15px">Time: 20 min (or the length of the <span class="gmail-il">BCl3</span> process, whichever is longer)</li></ul></li></ul>The intention of step 1 is to remove BCl3, and step 2 is to remove Cl2.</div><div><br></div><div>Thanks,</div><div>Nadia</div></div><br><div class="gmail_quote gmail_quote_container"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Mon, Mar 17, 2025 at 8:36 PM Emma Anquillare <<a href="mailto:eanquillare@gc.cuny.edu">eanquillare@gc.cuny.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div class="msg-4935242702445299839">




<div dir="ltr">
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Dear Labnetwork Hivemind,</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="direction:ltr;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt;font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
I am looking to assemble what we know collectively about dry plasma etch cleaning recipes so that I can summarize, compare, and ultimately experimentally evaluate them. </div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
I am interested in:</div>
<div style="direction:ltr;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt;font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
-Do your facility's etchers (ICP/ RIE) have custom clean recipes specific to certain etch recipes or materials? If so, what are they and what are both the recipe and clean parameters?</div>
<div style="direction:ltr;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt;font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
-Do you use an emission spectrometer (or any other method) to develop or evaluate these cleans?</div>
<div style="direction:ltr;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt;font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
-How did you come up with these cleans in the first place?</div>
<div style="direction:ltr;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt;font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
-Have you seen any good talks, literature, or other resources relevant to this subject?</div>
<div style="direction:ltr;line-height:1.38;margin-top:0pt;margin-bottom:0pt;font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Anything you can share is appreciated and (I hope) will be worth your efforts to provide, as I am seeking to compile this for public benefit. </div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Thanks!</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Emma</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div id="m_-4935242702445299839Signature">
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<b>_____________________________________________</b></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<b>Emma Anquillare, PhD</b></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Research Scientist</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;color:rgb(0,0,0)">
<span style="font-size:12pt">ASRC </span><span style="font-size:16px;background-color:rgb(255,255,255)">Nanofabrication Facility</span></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:16px;color:rgb(0,0,0)">
<span style="background-color:rgb(255,255,255)">City University of New York</span></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:16px;color:rgb(0,0,0)">
<span style="background-color:rgb(255,255,255)"><br>
</span></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:16px;color:rgb(0,0,0)">
<img id="m_-4935242702445299839image_0" width="337" height="77" style="width: 337px; height: 77px;" src="cid:ii_195b3e3dfbb20d0065f1"></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:16px;color:rgb(0,0,0)">
<i>Catalyzing Change, Celebrating Gains: </i></div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:16px;color:rgb(0,0,0)">
<i>A decade of visionary science for the public good.</i></div>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</div></blockquote></div><div><br clear="all"></div><div><br></div><span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br><div dir="ltr" class="gmail_signature"><div dir="ltr"><div>Nadia Pervez, PhD</div><div>Cleanroom Research Scientist</div><div>Shared Equipment Authority (SEA)</div><div>Rice University</div><div>6100 Main St, MS-686</div><div>Houston, TX 77005</div><div><a href="mailto:np65@rice.edu" target="_blank">np65@rice.edu</a><br></div><div>Office: SST-017, 713-348-5069 <br></div><div>Cell: 805-284-1193 </div></div></div>