<div dir="ltr"><div>Hi all,</div><div><br></div><div>I work between two fabs at UC Berkeley and part of my process flow involves shuttling wafers between those two fabs to their respective tools.</div><div><br></div><div>Currently I use a wafer box and double bag to ensure the wafers aren't contaminated by the environment outside the two fab labs. This is generally standard practice for transporting wafers outside a cleanroom.</div><div><br></div><div>But there are more complicated concerns. For example one fab lab has a wetbench used to remove native oxide from wafers, and when the next tool in the flow is in the same fab, I can minimize the regrowth of native oxide - but when I need to transfer between fabs regrowth can become an issue.</div><div><br></div><div>In industry they use a FOUP (Front Opening Unified Pod) to move wafers around while controlling the environment the wafers sees. The pods can be purged with nitrogen (and perhaps placed under vacuum?) and I think they can also be light tight to allow PR coated wafers to be transported in unfiltered light.</div><div><br></div><div><a href="https://en.wikipedia.org/wiki/FOUP">https://en.wikipedia.org/wiki/FOUP</a></div><div><br></div><div>Since it's the industry that uses FOUPs, all the systems are for 12" and above wafers. I know I could never be so lucky, but I'll ask anyway - does anyone know of any FOUP systems that are fitted for six inch wafers?</div><div><br></div><div>Outside that possibility, my ask for the community is: Is there an interest in developing such a system? Some sort of crowdsourcing? There are many members of industry in this mailing list and I'm sure there would be quite a few academic and research customers if someone wanted to develop and fabricate such a wafer transportation system.</div><div><br></div><div>I hope this post stimulates some interesting discussion.</div><div><br></div><div>-Chris</div></div>