<div dir="ltr"><div>Hello Chris;</div><div><br></div><div>Before the FOUP there was the SMIF system for six inch wafers.<br></div><div><a href="https://en.wikipedia.org/wiki/SMIF_(interface)">https://en.wikipedia.org/wiki/SMIF_(interface)</a><br></div><div>I have not seen either of these with a vacuum option before.</div><div> <br>Regards, Tony W. <br></div><div><br></div></div><br><div class="gmail_quote gmail_quote_container"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Tue, May 20, 2025 at 3:05 PM Christopher Raum <<a href="mailto:crraum@gmail.com">crraum@gmail.com</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div dir="ltr"><div>Hi all,</div><div><br></div><div>I work between two fabs at UC Berkeley and part of my process flow involves shuttling wafers between those two fabs to their respective tools.</div><div><br></div><div>Currently I use a wafer box and double bag to ensure the wafers aren't contaminated by the environment outside the two fab labs. This is generally standard practice for transporting wafers outside a cleanroom.</div><div><br></div><div>But there are more complicated concerns. For example one fab lab has a wetbench used to remove native oxide from wafers, and when the next tool in the flow is in the same fab, I can minimize the regrowth of native oxide - but when I need to transfer between fabs regrowth can become an issue.</div><div><br></div><div>In industry they use a FOUP (Front Opening Unified Pod) to move wafers around while controlling the environment the wafers sees. The pods can be purged with nitrogen (and perhaps placed under vacuum?) and I think they can also be light tight to allow PR coated wafers to be transported in unfiltered light.</div><div><br></div><div><a href="https://en.wikipedia.org/wiki/FOUP" target="_blank">https://en.wikipedia.org/wiki/FOUP</a></div><div><br></div><div>Since it's the industry that uses FOUPs, all the systems are for 12" and above wafers. I know I could never be so lucky, but I'll ask anyway - does anyone know of any FOUP systems that are fitted for six inch wafers?</div><div><br></div><div>Outside that possibility, my ask for the community is: Is there an interest in developing such a system? Some sort of crowdsourcing? There are many members of industry in this mailing list and I'm sure there would be quite a few academic and research customers if someone wanted to develop and fabricate such a wafer transportation system.</div><div><br></div><div>I hope this post stimulates some interesting discussion.</div><div><br></div><div>-Chris</div></div>
_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</blockquote></div>