<div dir="ltr"><div><div class="gmail_default" style="font-family:georgia,serif;font-size:small">Does anyone have processes for higher uniformity for amorphous Silicon PEVCD dep?</div><div class="gmail_default" style="font-family:georgia,serif;font-size:small">On both our PECVD tools, the a-Si recipes are extremely non-uniform (~50% reduced rate from center to edge of the platen!).</div><div class="gmail_default" style="font-family:georgia,serif;font-size:small"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:georgia,serif;font-size:small">The user has tried ↑ SiH4 flow, and ↑ ↓ Bias Power.  They may have tried pressure as well, but no dice yet.</div><div class="gmail_default" style="font-family:georgia,serif;font-size:small"><br></div><div class="gmail_default" style="font-family:georgia,serif;font-size:small">Does any one have experience with how to improve this?  </div><br clear="all"></div><div><div class="gmail_default" style="font-family:georgia,serif;font-size:small">Thanks!</div></div><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div><font size="4" face="georgia, serif">-- Demis</font></div><div><br></div><div style="color:rgb(136,136,136);font-family:"times new roman",serif"><font size="4">----------------------------------------</font></div><div style="color:rgb(136,136,136)"><i style="font-family:"times new roman",serif"><font size="4">     Process Group Manager</font></i><br></div><div style="color:rgb(136,136,136);font-family:"times new roman",serif"><font size="4"> <font color="#1155cc"><a href="https://www.nanotech.ucsb.edu/" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank"><i>UCSB Nanofabrication Facility</i></a></font></font></div><div style="color:rgb(136,136,136);font-family:"times new roman",serif"><font size="4">         <a href="https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/Demis_D._John" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">Demis' Contact Info</a></font></div><div style="color:rgb(136,136,136)"><div style="font-family:"times new roman",serif"><font size="4">----------------------------------------</font></div></div><i style="font-family:"times new roman",serif;color:rgb(136,136,136)">Reminder</i><span style="font-family:"times new roman",serif;color:rgb(136,136,136)">: The NanoFab has a </span><a href="https://wiki.nanotech.ucsb.edu/wiki/Frequently_Asked_Questions#Publications_acknowledging_the_Nanofab" style="font-family:"times new roman",serif;color:rgb(17,85,204)" target="_blank"><span>publications</span> <span>policy</span></a> </div></div></div></div>