<div dir="ltr">Hello Joanna,<div><br></div><div>This doesn't directly answer your question, but I wanted to share our approach for small samples on our MLA150 (pneumatic autofocus). We have users create a pocket wafer with depth and size matching the sample in question. The pockets are positioned ~ 10 mm away from the center, allowing the tool to do the initial focusing in the center on a nice flat section of the wafer. The user can then move to the small sample position and run their exposure. Some users even have multiple pockets and run several samples at a time. It works really nicely, we haven't had any crashes with this setup, and it allows us to handle sizes in the 3 mm range which is otherwise impossible with the pneumatic autofocus.</div><div><br></div><div>Best,</div><div>-Greg</div></div><br><div class="gmail_quote gmail_quote_container"><div dir="ltr" class="gmail_attr">On Thu, Sep 25, 2025 at 10:40 PM Joanna Strongson Bettinger <<a href="mailto:joannabettinger@berkeley.edu">joannabettinger@berkeley.edu</a>> wrote:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex">



<div>
<div dir="ltr">
<div>Dear Lab Network</div>
<div><br>
</div>
<div>We have a Heidelberg mla150 in the UC Berkeley NanoLab. We currently have the minimum sample size set to 5mm (using optical autofocus). We occasionally have samples in the 5-6mm range that the system won't detect, and occasionally have samples just below
 5mm (around 4.9mm) that it can't detect by definition.</div>
<div><br>
</div>
<div>We're exploring the possibility of asking Heidelberg to reduce that software limit to 3mm or 4mm, and wanted to see other's experiences.</div>
<div><br>
</div>
<div>Have you lowered the sample size requirements, and if so, have you seen any additional writehead crashes or other issues? Did you find any issues to be due to user error in a shared facility, or were they just caused by setting the limit so low?</div>
<div><br>
</div>
<div>Thanks</div>
<div>Joanna</div>
<div><br>
</div>
<span class="gmail_signature_prefix">-- </span><br>
<div dir="ltr" class="gmail_signature">
<div dir="ltr">
<div>
<div dir="ltr"><span style="color:rgb(136,136,136)">Joanna Bettinger</span>
<div><font color="#888888">She/Her<br>
</font>
<div style="color:rgb(136,136,136)">Process Engineer</div>
<div style="color:rgb(136,136,136)">UC Berkeley Marvell Nanofabrication Laboratory</div>
<div style="color:rgb(136,136,136)"><br>
</div>
<div></div>
<div style="color:rgb(136,136,136)"><br>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>
</div>

</blockquote></div>