<div dir="ltr"><div class="gmail_quote gmail_quote_container"><div dir="ltr" class="gmail_attr">Hello Mohammad,</div><div dir="ltr"><br>In order to ignite the plasma on any target, you need to have a sufficiently strong magnetic field above it. For most materials, this is not a problem given that the magnet assembly inside the gun is not damaged. However, ferromagnetic targets typically require special effort to ignite plasma. You need to "saturate" the target itself and still have a reasonable field above the target surface. That requires either a thinner target or stronger magnet assembly (or both).<br><br>I didn't work with any of the Nexdep tools but it looks like your gun is designed (and optimized) for using 2" targets which are normally fairly thin (<3 mm). That, in turn, very likely means that your 1-mm thick NiFe target is (a) too thick, (b) too far from the magnet assembly (don't forget the 3+ mm backing plate). In that case, the power supply would max out on voltage and have zero current, essentially meaning there's no plasma/deposition. If you have access to a magnetometer, you can do a quick test and measure the field above the center of the gun with and without the target (or using any other target). You can expect to be able to strike plasma if the field is at least ~100 Gauss, and more is better. If the field is higher than that (200-300 Gauss or higher) and you still cannot strike the plasma - try usual tricks like increasing the pressure (10-15-20 mTorr is acceptable, and you can decrease it later once the plasma is lit) or striking another gun in the same chamber (if you have one) to help strike the magnetic one, then turn off the "helper gun".<br><br>Alternative solutions can be: (1) using a gun with a stronger magnet assembly, specifically designed for ferromagnetic targets; (2) decreasing, to the max degree possible, the thickness of the backing plate, effectively bringing the target closer to the magnets; (3) thinning down the target itself - depending on your specific gun, you may need to go as thin as using the foil.<br><br>Hope this helps.<br><br>Andrey Blednov</div><br><div class="gmail_quote"><div dir="ltr" class="gmail_attr">пн, 13 окт. 2025 г. в 19:32, Mohammad Mohtasim Hamid Pial <<a href="mailto:mpial001@fiu.edu" target="_blank">mpial001@fiu.edu</a>>:<br></div><blockquote class="gmail_quote" style="margin:0px 0px 0px 0.8ex;border-left:1px solid rgb(204,204,204);padding-left:1ex"><div>




<div dir="ltr">
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Dear All,</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
I am attempting to deposit NiFe using a magnetron sputtering setup (Angstrom Engineering – Nexdep PVD platform). Below are my target specifications and sputtering parameters:</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Target: NiFe (2" dia × 1 mm, 4N purity) bonded to a 1/8" Cu backing plate</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Sputtering Method: DC Magnetron Sputtering</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
DC Power: 100–150 W</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Base Pressure: ~10⁻⁶ Torr</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Ar Gas Flow Rate: 20–30 sccm</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Working Pressure: 3–5 mTorr</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
However, I am unable to ignite the plasma. The DC power supply setpoint keeps blinking and the power stalls around 15 W before dropping </div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Could this issue be due to insufficient magnetic field strength (not penetrating the thick target/Cu backing), or is the target too thick for effective plasma ignition? Do I need a thinner target or additional magnetic confinement?</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
I would greatly appreciate any insights or recommendations from anyone who has sputtered NiFe or similar high-permeability alloys on this platform.</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
<br>
</div>
<div style="font-family:Aptos,Aptos_EmbeddedFont,Aptos_MSFontService,Calibri,Helvetica,sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(0,0,0)">
Thank you in advance!<br>
Pial</div>
<div style="font-family:"Segoe UI",sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(85,85,85)">
<br>
</div>
<div style="font-family:"Segoe UI",sans-serif;font-size:12pt;color:rgb(85,85,85)">
<br>
</div>
</div>

_______________________________________________<br>
labnetwork mailing list<br>
<a href="mailto:labnetwork@mtl.mit.edu" target="_blank">labnetwork@mtl.mit.edu</a><br>
<a href="https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork" rel="noreferrer" target="_blank">https://mtl.mit.edu/mailman/listinfo.cgi/labnetwork</a><br>
</div></blockquote></div>
</div></div>