<div dir="ltr"><div>Hi everyone,</div><div><br></div><div>We are looking at taking on a project that will use Cobalt and Palladium in our PEALD tool. Cobalt is a new material for us and I'm wondering if anyone has experience they can share concerning safety or process cross-contamination we should be apprised of.</div><div><br></div><div>Thanks in advance for any insight or advice you can provide.</div><div><br></div><div><div dir="ltr" class="gmail_signature" data-smartmail="gmail_signature"><div dir="ltr"><div>Brian K. Olmsted<br></div><div>Associate Director of Laboratory Operations<br><div>University of Minnesota | Minnesota Nano Center<br><div><a href="http://cse.umn.edu/mnc" style="color:rgb(17,85,204)" target="_blank">cse.umn.edu/mnc</a><br></div></div><div>612.626.3287</div><div><a href="mailto:olms0025@umn.edu" target="_blank">olms0025@umn.edu</a></div><div><br></div></div></div></div></div></div>